[实用新型]一种传送滚轮及化学腐蚀装置有效
申请号: | 201220591109.3 | 申请日: | 2012-11-09 |
公开(公告)号: | CN202888143U | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
发明(设计)人: | 张俊娟;王立建 | 申请(专利权)人: | 浙江昱辉阳光能源江苏有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/306 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏晓波 |
地址: | 214200 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 传送 滚轮 化学 腐蚀 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及晶体硅太阳能电池制造领域,特别涉及一种传送滚轮及化学腐蚀装置。
背景技术
太阳能电池作为世界的新能源材料之一,其发展极为迅速。制作太阳能电池片的工序通常包括硅片表面制绒、扩散制PN结(PN junction)、刻蚀、镀减反射膜,丝网印刷、烧结等一系列工序。其中,制绒工序是为了有效地降低晶体硅表面的反射,提高陷光作用,从而提高电池片的电性能。而在扩散工序中,不论是单面扩散还是双面扩散,都不可避免的在硅片周边也形成了扩散层,PN结的正面所收集的光生电子会沿着边缘扩散层流到PN结的背面,从而造成短路。周边上存在任何微小的局部短路都会使电池并联电阻下降,反向电流增大,降低太阳能电池的整体电性能。因此,必须对太阳能电池周边以及背面的掺杂硅进行刻蚀,以去除电池边缘的PN结。所以刻蚀也是制备太阳能电池片的重要工序之一。
目前晶体硅太阳能电池工业化生产中普遍采用化学腐蚀方法进行硅片的制绒与刻蚀。其优点是设备要求低,腐蚀表面光滑平整。然而在现有技术化学腐蚀过程中,腐蚀装置中的传送滚轮的横截面为圆环状,这样的传送滚轮会导致硅片上出现两条滚轮印,影响硅片的腐蚀效果。而且这种滚轮印在硅片镀上减反射膜之后会变得尤为明显,严重影响了太阳能电池片的外观及电性能。
因此,如何改进腐蚀装置中的传送滚轮的结构,避免硅片表面滚轮印的产生,改善腐蚀效果,消除滚轮印对电池片外观及电性能的影响,成为本领域技术人员亟待解决的重要技术问题。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型的主要目的在于提供一种传送滚轮,以避免硅片表面滚轮印的产生,改善腐蚀效果,消除滚轮印对电池片外观及电性能的影响。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种传送滚轮,所述传送滚轮的横截面为齿轮状。
优选的,所述传送滚轮的齿顶为圆弧状。
优选的,所述传送滚轮的齿数为6-30个。
优选的,所述传送滚轮为耐腐蚀材料制成。
优选的,所述传送滚轮的齿数为16个。
优选的,所述传送滚轮为直齿圆柱齿轮。
一种化学腐蚀装置,包括腐蚀槽、转轴和如上所述的传送滚轮,其中,所述转轴可转动地支撑于所述腐蚀槽内,所述传送滚轮安装于所述转轴上。
从上述的技术方案可以看出,本实用新型提供的传送滚轮的横截面为齿轮状,采用这种形状的传送滚轮,减少了在传送过程中传送滚轮与硅片的接触面积,能够避免化学腐蚀过程中硅片表面滚轮印的产生,改善化学腐蚀的效果,从而消除滚轮印对电池片外观及电性能的影响。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型提供的化学腐蚀装置的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型提供了一种传送滚轮,达到避免在硅片表面产生滚轮印,改善腐蚀效果,消除滚轮印对电池片外观及电性能的影响的目的。
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1,图1为本实用新型提供的化学腐蚀装置的结构示意图。
本实用新型提供的传送滚轮4的横截面为齿轮状,与现有技术中横截面为圆环状的传送滚轮相比,采用这种形状的传送滚轮4,可以尽量减少传送过程中传送滚轮4与硅片的接触面积,避免化学腐蚀过程中硅片表面滚轮印的产生,改善化学腐蚀的效果,消除滚轮印对电池片外观及电性能的影响。
本实用新型提供的传送滚轮4的齿顶为圆弧状,这样可以保护硅片,避免硅片被传送滚轮划伤或者打碎。
传送滚轮4的齿数为6-30个,齿数少于6个,传送不平稳,会影响硅片的传送效率,传送滚轮4齿数多于30个,会使传送滚轮4的横截面形状接近圆环形,无法有效达到避免硅片表面滚轮印产生的目的,再者,传送齿轮4齿数太多会造成齿牙过于纤细,容易折断,本实用新型实施例采用齿数为16的直齿圆柱齿轮为传送滚轮,当然,必要时也可以将其设为其它形状的齿轮。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江昱辉阳光能源江苏有限公司,未经浙江昱辉阳光能源江苏有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201220591109.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:不规则纤维物料加工设备的喂料机
- 下一篇:采血管生产线卷式转运装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造