[实用新型]一种硅片盒搬送台车

权利要求书

1.一种硅片盒搬送台车，用于将硅片盒搬送入洁净室，其特征在于，所述搬送台车包括一个台面和四个支撑柱，所述支撑柱位于所述台面下方并支撑所述台面，所述支撑柱下方安装有滑轮并与地面接触；所述同侧的支撑柱之间在所述台面下方预设的位置安装有一挡板装置。 

2.如权利要求1所述的硅片盒搬送台车，其特征在于，还包括内置的避震弹簧装置，所述避震弹簧装置安装在所述滑轮上方并与所述滑轮连接。 

3.如权利要求1所述的硅片盒搬送台车，其特征在于，所述台面是矩形的，所述挡板装置沿所述台面的长边方向安装在所述同侧的两根支撑柱之间，所述挡板装置位于所述台面的下方并与所述台面之间有预设的距离。 

4.如权利要求3所述的硅片盒搬送台车，其特征在于，所述台面为多孔板。 

5.如权利要求4所述的硅片盒搬送台车，其特征在于，所述台面四周设置有阻挡装置。 

6.如权利要求5所述的硅片盒搬送台车，其特征在于，还包括一个把手，所述把手安装在所述台面的宽边侧面。 

7.如权利要求1所述的硅片盒搬送台车，其特征在于，所述滑轮是导静电轮。 

8.如权利要求7所述的硅片盒搬送台车，其特征在于，所述导静电轮上设有一刹车部件。