[实用新型]用于湿法化学工艺的设备

权利要求书

1.用于湿法化学工艺的设备，其设置用于借助处理液（F）在形成从所述处理液（F）中逸出的气态物质（G）的情况下对衬底进行湿法化学处理，所述用于湿法化学工艺的设备包括：构成为双层壁的并且能够替换的处理池（1），所述处理池的外壁（2）和内壁（3）在构成中间腔（4）的情况下彼此隔开；和设置在所述处理池（1）之下的用于容纳的容器（5），其用于容纳从所述处理池（1）流出的气态物质（G）和/或处理液（F），所述流出的气态物质（G）和/或处理液（F）能够通过中间腔（4）排出到所述用于容纳的容器（5）中；以及设置在所述处理池（1）的所述外壁（2）和所述用于容纳的容器（5）之间的过渡区域中的密封部（9），以相对于周围环境（U）屏蔽所述气态物质（G）和/或处理液（F），其中所述密封部（9）是基于液体的密封部，通过在所述过渡区域中提供液体收集容积部（F1；F2）实现构成所述密封部（9）。 

2.根据权利要求1所述的用于湿法化学工艺的设备，其中所述用于容纳的容器（5）具有环形的槽，在提供所述液体收集容积部（F1、F2）的情况下，所述槽的宽度（B）超过所述外壁（2）的厚度（D）。 

3.根据权利要求2所述的用于湿法化学工艺的设备，其中所述液体收集容积部（F1）设置在所述外壁（2）的背离所述周围环境（U）的一侧上。 

4.根据权利要求1所述的用于湿法化学工艺的设备，其中所述液体收集容积部（F1；F2）以环形凹槽的形式提供在所述用于容纳的容器（5）的上部区域中。 

5.根据权利要求4所述的用于湿法化学工艺的设备，其中所述液体收集容积部（F1）设置在所述外壁（2）的背离所述周围环境（U）的一侧上。 

6.根据权利要求1所述的用于湿法化学工艺的设备，其中在所述过渡区域中，使所述外壁的几何形状和所述用于容纳的容器（5）的与所述外壁接触的区域的几何形状彼此配合以形成所述液体收集容积部（F1；F2）。 

7.根据权利要求1至6之一所述的用于湿法化学工艺的设备，其中所述液体收集容积部（F1；F2）至少部分地由冷凝的气态物质（G’）、所述处理液（F）和/或密封液填充。 

8.根据权利要求1至6之一所述的用于湿法化学工艺的设备，其中在所述过渡区域中，附加地设置有对所述处理液（F）作用的密封机构（12）。 

9.根据权利要求7所述的用于湿法化学工艺的设备，其中在所述过渡区域中，附加地设置有对所述处理液（F）作用的密封机构（12）。