[实用新型]异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态

说明书

所属技术领域

本实用新型涉及异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，特别涉及一种用于异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统。

背景技术

太阳能电池产业中,硅太阳能电池以其高达20%的转换效率、成熟的制作工艺,在工业生产中占据着主导地位,然而受到硅材料价格及繁琐电池制作工艺的影响,硅太阳能电池的成本居高不下,目前严重制约着太阳能电池的大范围推广。此种异质结太阳能电池在硅衬底上利用简单工艺沉积薄膜,从而制备异质结太阳能电池。然而此种太阳能电池的工艺结构需要在硅衬底的正面及反面各沉积一层非晶硅薄膜，传统的直线式连续镀膜系统，对于硅衬底正面完全可以适应，但无法沉积膜层至硅衬底反面；若采用两条直线式连续镀膜系统，又有硅衬底移载出镀膜系统后的表面污染问题，上述问题都亟待一系统组态来适应此种新型的太阳能电池的开发。

发明内容

本实用新型主要目的系提供异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，来改善现有直线式连续镀膜系统无法有效适用于异质结太阳能电池及解决在硅衬底正面及反面沉积非晶硅薄膜及表面污染的问题。

 为了达成上述实用新型目的，本实用新型的技术方案是提供异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，直线式相对的设置，中间用一自动交换区将相对设置的系统隔离呈两的部份；该异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态依序包含加载区、自动交换区、第一承载室、第一反应室、第二反应室、第二承载室、第三反应室、第四反应室及卸载区，其中特点是：

所述之等离子增强化学气相沉积系统组态呈直线且相对组态设置，其中自动交换区设置正压式惰性气体循环系统；

所述之等离子增强化学气相沉积系统组态第一承载室、多个镀膜反应室构成硅片正面薄膜沉积的功用；

        所述之等离子增强化学气相沉积系统组态第二承载室、多个镀膜反应室构成硅片反面薄膜沉积的功用；

所述之等离子增强化学气相沉积系统组态呈直线且相对组态设置，此设置可形成一个整体组态完成异质结太阳能电池硅衬底正面及反面的薄膜沉积，此种设置对于未来产能扩充具有极大的弹性，只要将自动交换区加长，即可在设置相同的一个完整的组态；

在上述异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态整体设制成直线型，自动交换区内设置正压式惰性气体循环系统，无需再另行设置洁净度高的区域来防止环境的污染，有效降低生产成本。

附图说明

图1系为本实用新型示意图。

图2系为本实用新型另一实例示意图。

主要组件符号说明。

100．．．系统组态。

101．．．第一区域。

102．．．第一承载室。

103．．．第一反应室。

104．．．第二反应室。

105．．．第二承载室。

106．．．第三反应室。

107．．．第四反应室。

108．．．自动交换区。

109．．．隔离阀门。

110．．．加载区。

111．．．卸载区。

200．．．本实用新型另一实例。

201．．．第二区域。

202．．．维修区。

具体实施方式

为使方便简捷了解本实用新型之其他特征内容与优点及其所达成之功效能够更为显现，兹将本实用新型配合附图，详细說明如下：请參阅图1，本实用新型之主要目的系提供异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，该等离子增强化学气相沉积系统组态呈直线且相对组态设置，包括依序连接的加载区110、自动交换区108和卸载区111构成的衬底载入、交换不同的沉积系统及移载的部份；其中所述之第一承载室102、第一反应室103、第二反应室104构成上半部；其中所述之第二承载室105、第三反应室106、第四反应室107构成下半部。

    同时，所述之异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态整体完成第一区域的基本组态，此基本组态可完成硅衬底正面及反面的薄膜沉积。