[实用新型]同轴电缆接头、组合结构及等离子体处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种接头，更具体地说，涉及一种同轴电缆接头。 

背景技术

在高压电源向电极的传输过程中，一般采用普通的高压线，这种电线只耐高压而不能屏蔽高频信号，从而导致经它传输的高频信号向外辐射，且周围环境的信号也会对高频信号造成影响。另外，对高频信号来说，分布参数会影响高频信号的传输特性，而布线的形状、与周边接触的情况都会改变它的分布参数，故以普通的高压线作为高压信号传输介质存在诸多的弊端。 

同轴电缆作为一种信号传输介质，其一般具有一根铜质内导体，以及多跟围绕内导体分布的外导体，两者之间以绝缘的管套加以分隔。同轴电缆的内导体作为传输信号的部分，周围导线用来防止电磁能量的辐射并具有接地的功能。 

所以，采用同轴电缆作为将直流高压电源连接到射频电极的传输介质，具有较好的耐高压及屏蔽高频信号的效果。但只有同轴电缆线本身的屏蔽并不能实现对高频信号的屏蔽，对同轴电缆两端接头也实现接地则会获得对其中传输的高频信号更好的屏蔽效果。 

在现有技术中，同轴电缆射频电极端接头包括接头本体、接地导电板和其他组件等，接头本体和接地导电板之间电连接，从而实现接头本体的接地以获得对高频信号更好的屏蔽效果。但由于接头本体和接地导电板之间可能因为热胀冷缩、接触不良等因素，造成接头本体并没有有效接地，从而使高频信号的屏蔽效果受到影响。 

为此，研发出一种使同轴电缆接头本体具有良好接地效果并对高频信号具有良好屏蔽效果的同轴电缆接头是本领域研发人员的一个迫切的目标。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种使接头本体具有良好接地效果，从而实现对同轴电缆中传输的高频信号更好屏蔽的同轴电缆接头。 

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下： 

一种同轴电缆接头，用于将直流高压电源通过同轴电缆连接到射频电极，包括接头本体101、第一绝缘件102、第二绝缘件103、导体插件104、导体接头105、接地导电板106以及标准压接件107，同轴电缆中的内导体201整体嵌入导体插件104内部并与其连接，导体接头105上端部连接射频电极，其下端部包覆导体插件104；导体插件104包括从上向下垂直分布的第一、第二和第三插件部1041、1042、1043，第一插件部1041嵌入导体接头105下部，第二插件部1042上下承接第一插件部1041和第三插件部1043，其外部包覆有第一绝缘件102，第三插件部1043外部依次包覆有第二绝缘件103和第一绝缘件102；第二绝缘件103下部嵌入接头本体101，第一绝缘件102从上向下分别包覆导体接头105下端部、导体插件104的第二插件部1042和第二绝缘件103上端部；接地导电板106紧靠接头本体101设置，环绕第一绝缘件102并接地；标准压接件107设置于接头本体101下端部，用于使接头本体101和同轴电缆外导体连接；其中，接头本体101上表面临近接地导电板106处设有一凹槽108，该凹槽内设有一接地垫圈109，其高度超出凹槽108的深度，该接地垫圈109分别与接头本体101和接地导电板106电连接。 

优选地，接地垫圈109由铍铜制成，其表面镀有银。 

本实用新型还公开了一种同轴电缆及其两端接头的组合结构，用于将直流高压电源通过同轴电缆连接到射频电极，包括高压同轴电缆200、直流高压电源端接头和射频电极端接头，其中射频电极端接头为上面所述的具有凹槽和接地垫圈结构的同轴电缆接头，直流高压电源端接头与供给该直流高压电源的直流高压电源盒固接。 

此外，本实用新型还公开了一种等离子体处理装置，其包括了上述具有凹槽和接地垫圈结构的同轴电缆接头。 

本实用新型在接头本体101上表面的凹槽108内设有接地垫圈109，其 高度稍超出凹槽108的深度，分别与接头本体101和接地导电板106电连接，从而保证同轴电缆接头很好地接地，进一步实现了对通过同轴电缆的高频信号更好的屏蔽效果。 

附图说明

图1A为本实用新型的同轴电缆接头纵向剖视图； 

图1B为本实用新型的同轴电缆接头中导体插件的结构示意图； 

图2A为本实用新型的同轴电缆接头去除接地导电板后俯视图； 

图2B为本实用新型的同轴电缆接头去除接地导电板后仰视图。 

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。