[实用新型]同轴电缆接头、组合结构及等离子体处理装置

权利要求书

1.一种同轴电缆接头，用于将直流高压电源通过同轴电缆(200)连接到射频电极，包括接头本体(101)、第一绝缘件(102)、第二绝缘件(103)、导体插件(104)、导体接头(105)、接地导电板(106)以及标准压接件(107)，所述同轴电缆(200)中的内导体(201)整体嵌入导体插件(104)内部并与其连接，所述导体接头(105)上端部连接射频电极，其下端部包覆导体插件(104)；

所述导体插件(104)包括从上向下垂直分布的第一、第二和第三插件部(1041、1042、1043)，所述第一插件部(1041)嵌入导体接头(105)下部，所述第二插件部(1042)上下承接第一插件部(1041)和第三插件部(1043)，其外部包覆有第一绝缘件(102)，所述第三插件部(1043)外部依次包覆有第二绝缘件(103)和第一绝缘件(102)；

所述第二绝缘件(103)下部嵌入接头本体(101)，所述第一绝缘件(102)从上向下分别包覆导体接头(105)下端部、导体插件(104)的第二插件部(1042)和第二绝缘件(103)上端部；

所述接地导电板(106)紧靠接头本体(101)设置，环绕所述第一绝缘件(102)并接地；

所述标准压接件(107)设置于接头本体(101)下端部，用于使所述接头本体(101)和同轴电缆外导体连接；

其特征在于，所述接头本体(101)上表面临近接地导电板(106)处设有一凹槽，该凹槽内设有一接地垫圈(108)，其高度超出所述凹槽的深度，该接地垫圈(108)分别与所述接头本体(101)和接地导电板(106)电连接。

2.如权利要求1所述的同轴电缆接头，其特征在于，所述接地垫圈(109)由铍铜制成，其表面镀有银。

3.如权利要求1所述的同轴电缆接头，其特征在于，所述同轴电缆接头还包括一个卡口式连接部件，其与所述同轴电缆(200)相配合并卡紧以固定该同轴电缆(200)。

4.如权利要求1所述的同轴电缆接头，其特征在于，所述同轴电缆接头还包括一个插拔式连接部件，其与所述同轴电缆(200)相配合并以螺钉固定该同轴电缆(200)。

5.如权利要求1所述的同轴电缆接头，其特征在于，所述同轴电缆接头还包括一个螺旋式连接部件，其与所述同轴电缆(200)相配合并逐渐旋紧以固定该同轴电缆(200)。

6.如权利要求1至5中任一项所述的同轴电缆接头，其特征在于，所述凹槽(108)呈不封闭的环形矩形。

7.如权利要求1至5中任一项所述的同轴电缆接头，其特征在于，所述凹槽(108)呈封闭的环形矩形。

8.如权利要求1至5中任一项所述的同轴电缆接头，其特征在于，所述凹槽(108)呈圆环形。

9.一种同轴电缆及其两端接头的组合结构，用于将直流高压电源通过同轴电缆连接到射频电极，包括同轴电缆(200)、直流高压电源端接头和射频电极端接头，其特征在于，所述射频电极端接头为如权利要求1所述的同轴电缆接头，所述直流高压电源端接头与供给该直流高压电源的直流高压电源盒固接。

10.一种等离子体处理装置，其特征在于，所述等离子体处理装置包括权利要求1至8中任一项所述的同轴电缆接头。