[实用新型]一种籽晶夹持器有效
| 申请号: | 201220248096.X | 申请日: | 2012-05-29 |
| 公开(公告)号: | CN202610395U | 公开(公告)日: | 2012-12-19 |
| 发明(设计)人: | 牛沈军;王东海;薛卫明;维塔利·塔塔琴科;陈文渊;刘一凡;孙大伟 | 申请(专利权)人: | 上海中电振华晶体技术有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00 |
| 代理公司: | 上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242 | 代理人: | 王松 |
| 地址: | 201210 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 籽晶 夹持 | ||
技术领域
本实用新型属于蓝宝石制造设备技术领域,涉及一种籽晶夹持器,尤其涉及一种用于蓝宝石生长的籽晶夹持器。
背景技术
蓝宝石是一种氧化铝(α-Al2O3)的单晶,俗称刚玉,是由三个氧原子和两个铝原子以共价键形式结合,属于六方晶系。其熔点为2050℃,沸点为2980℃,最高工作温度可达1900℃,是一种较早开发应用的人工晶体材料。蓝宝石晶体材料的化学性质非常稳定,一般不溶于水,不受酸、碱腐蚀;蓝宝石晶体硬度与耐磨性能高,为莫氏硬度9级,仅次于最硬的金刚石,可作为精密机械的轴承材料;它具有很好的力学和光学性能,是一种理想的光学窗口材料。另外,蓝宝石晶体材料是使用最广泛的氧化物衬底材料之一,在微电子-光电子技术、通信、医学等领域有着广阔的应用前景。
蓝宝石单晶的生长方法很多,其中最常见的有泡生法(KY法)、提拉法(CZ法)、导模法EFG、温梯法TGT、热交换法HEM、焰熔法等等。在这些方法中,蓝宝石生长是在单晶炉内完成,单晶炉是由各种功能的部件组成。以KY法为例,制造方法大致如下:氧化铝原料被装进钨坩埚内,加热熔化形成熔汤,然后把一支特定晶向的籽晶装入籽晶夹持器中,籽晶夹持器的上端通过连接杆与籽晶轴连接,籽晶固定于夹持器的下端并且使籽晶与熔汤表面接触,籽晶以极缓慢的速度往上拉,在形成晶颈且界面凝固速率稳定后,籽晶不再拉升,仅以控制冷却速率的方式来完成单晶的生长。
由此可见,在蓝宝石单晶材料制造的过程中,籽晶夹持器是重要而且是必需的部件。籽晶需要被很好地固定到籽晶夹持器中,确保在制备过程中籽晶不会脱落掉入熔汤,最终顺利完成单晶的生长。一般来说,籽晶夹持器是由钼材料或者钨材料制造而成。目前常用的是捆绑式籽晶夹持器,籽晶为长方体,在长方体一侧开有多个缺口,籽晶半嵌于籽晶夹持器的下端,利用籽晶的缺口,用钨铼丝将籽晶与籽晶夹持器固定在一起。这种捆绑式夹持器有其自身的缺点,比如多次使用后容易造成钨铼丝的松动,使籽晶脱落掉入熔体,而且当生长的晶体过重时,籽晶也容易在缺口的地方断裂。
有鉴于此,如今迫切需要设计一种新的籽晶夹持器,以避免籽晶的经常性断裂。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种籽晶夹持器,可保证籽晶的安全使用,避免籽晶断裂,延长籽晶的使用寿命。
为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:
一种籽晶夹持器,所述籽晶夹持器包括:籽晶夹持器主体和与籽晶夹持器主体相配合的紧固套筒;
所述籽晶夹持器主体包括上端接头和下端籽晶夹头,所述上端接头与籽晶杆连接;所述下端籽晶夹头为可拆分部件,用于装入和取出籽晶;
所述紧固套筒套在下端籽晶夹头的外部,用来紧固所述下端籽晶夹头。
作为本实用新型的一种优选方案,所述下端籽晶夹头内有一个或多个定位销孔,定位销孔方向与籽晶通道方向相交,籽晶上设有与定位销孔相对应的缺口;在定位孔处插入用于固定籽晶的销子。
作为本实用新型的一种优选方案,所述下端籽晶夹头内设有1至4个定位销孔。
作为本实用新型的一种优选方案,所述下端籽晶夹头内设有2个或3个定位销孔。
本实用新型的有益效果在于:本实用新型提出的籽晶夹持器,能保证籽晶的安全使用,避免籽晶断裂,延长籽晶的使用寿命。与现有捆绑式籽晶夹持器相比,可以避免因捆绑松动造成的籽晶脱落掉入熔体而引发的事故。本实用新型可以用于制造LED和其他电子器件的蓝宝石单晶的制备,满足蓝宝石单晶材料的发展需要。
附图说明
图1为本实用新型用于蓝宝石生长的籽晶夹持器的平面示意图。
具体实施方式
下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施例。
实施例一
请参阅图1,本实用新型公开了一种蓝宝石生长用籽晶夹持器,所述籽晶夹持器包括:籽晶夹持器主体1和与籽晶夹持器主体1相配合的紧固套筒2;所述籽晶夹持器主体1包括:上端接头1a和下端籽晶夹头1b。
所述的籽晶夹持器主体1的上端接头1a为圆柱体且外部开有螺纹,用于和籽晶杆连接;所述的籽晶夹持器主体1的下端籽晶夹头1b为可拆分部件,便于籽晶的装入和取出,该籽晶夹头1b内有2个定位销孔1b1,定位销孔方向与籽晶通道方向相交,用于固定籽晶;所述的紧固套筒2套在下端籽晶夹头1b的外部,用来紧固籽晶夹头。
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