[实用新型]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，包括由第一外壳和线路板包围形成的第一封装结构，所述第一封装结构内部所述线路板表面上设有MEMS声电芯片和ASIC芯片，所述MEMS声电芯片、所述ASIC芯片以及线路板之间通过金属线电连接，其特征在于：还包括第二外壳，所述第二外壳内部尺寸大于所述第一外壳外部尺寸，所述第二外壳套设在所述第一外壳外部并与所述线路板连接，所述第二外壳、线路板以及第一外壳共同包围形成第二封装结构，所述第二外壳上设有接受声音信号的第一声孔，所述线路板内部设有通道，所述通道将所述第一封装结构内部所述MEMS声电芯片与所述第二封装结构内部连通，所述第一声孔通过所述第二封装结构内部以及所述通道与所述MEMS声电芯片连通。

2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第二封装结构内部所述线路板上设有凹陷槽，所述通道与所述凹陷槽连通，所述第一声孔通过所述第二封装结构内部、所述凹陷槽以及所述通道与所述MEMS声电芯片连通。

3.如权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述通道的数量为三条，所述三条通道分别与所述凹陷槽连通。