[实用新型]晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置有效
| 申请号： | 201220230910.5 | 申请日： | 2012-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN202610326U | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 胡俊涛;勾宪芳;姜利凯;王鹏;曹华斌;宋爱珍 | 申请（专利权）人： | 中节能太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/56 | 分类号： | C23C16/56;B08B5/02;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 缪友菊 |
| 地址： | 100041 北京市石景*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶体 太阳能电池 板式 pecvd 镀膜 在线 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置，其特征在于，包括压力调节阀（1）、连接管路（2）及风刀（3），所述风刀（3）为中空结构，且截面为梯形，所述连接管路（2）的两端分别和气源（4）及所述风刀（3）下底面的进气口连接，所述压力调节阀（1）设置在所述连接管路（2）上，所述风刀（3）的上底面均匀设置有若干吹扫气孔，所述风刀（3）上底面的宽度大于或等于待吹扫石墨载板的宽度。
2.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置，其特征在于，所述风刀（3）上底面的吹扫气孔均匀分为三排，气孔直径为0.1cm，气孔间隔为0.3cm。
3.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置，其特征在于，所述风刀（3）的长度与待吹扫石墨载板的长度相等。
4.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置，其特征在于，所述风刀（3）的材质为聚四氟乙烯。
5.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置，其特征在于，所述连接管路（2）为二分之一英寸不锈钢管。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
