[实用新型]一种大面积沉积金刚石膜的热丝架

权利要求书

1.一种大面积沉积金刚石膜的热丝架，包括左钼电极（1），右钼电极（2），带凹槽销钉（3），弧形槽（4），弹簧架（5）， 外边条（6），若干根长度相等的灯丝（7），支持杆（8）及弹簧（9），其特征在于：

所述左钼电极（1）和右钼电极（2）通过支持杆（8）固定；

左钼电极（1）上等间距布置一排带凹槽销钉（3），凹槽口背对右钼电极（2）；右钼电极（2）上具有弧型槽（4），弧型槽（4）与销钉（3）分布规律相同，且弧型槽（4）底部与销钉（3）的凹槽水平一致；

弹簧架（5）通过陶瓷绝缘片与右钼电极（2）进行连接，整个弹簧架平面与水平呈30度夹角；

灯丝（7）一端套在带凹槽销钉（3）上，另一端跨过右钼电极（2）后与弹簧（9）一端连接，弹簧（9）另一端通过钩连接在外边条（6）的相应孔上，外边条（6）上的孔与弧型槽（4）和销钉（3）分布规律相同。

2.一种大面积沉积金刚石膜的热丝架，包括左钼电极（1），右钼电极（2），带凹槽销钉（3），弧形槽（4），弹簧架（5）， 外边条（6），若干根长度相等的灯丝（7），弹簧（9）及铜电极支柱（10），其特征在于：

所述左钼电极（1）和右钼电极（2）与四个带水冷铜电极支柱（10）进行连接固定；

左钼电极（1）上等间距布置一排带凹槽销钉（3），凹槽口背对右钼电极（2）；右钼电极（2）上具有弧型槽（4），弧型槽（4）与销钉（3）分布规律相同，且弧型槽（4）底部与销钉（3）的凹槽水平一致；

弹簧架（5）通过陶瓷绝缘片与右钼电极（2）进行连接，整个弹簧架平面与水平呈30度夹角；

灯丝（7）一端套在带凹槽销钉（3）上，另一端跨过右钼电极（2）后与弹簧（9）一端连接，弹簧（9）另一端通过钩连接在外边条（6）的相应孔上，外边条（6）上的孔与弧型槽（4）和销钉（3）分布规律相同。