[实用新型]一种高速电镀设备用双向旋转阴极机构

说明书

技术领域

本实用新型属于高速电镀设备制造领域，尤其是涉及一种高速电镀设备用双向旋转阴极机构。

背景技术

微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems，简称MEMS)是80年代末期在国际上兴起的一门交叉学科，广泛地涉及到机械、电子、物理学、化学生物学等众多学科。也会给人类带来无穷的方便。MEMS的发展给三维微加工技术带来了新机遇和新挑战，微电镀是必不可少的。

微电镀设备是进行电镀的基础，采用现有的国产电镀设备，沉积速度较慢，电镀1mm厚度的微器件至少需要4～5天，生产效率低下。另外，在微电子行业中的许多电子元器件也需要电镀技术，如半导体制造的后工程—电子封装中的引线框架需要镀金、镀银等。而且随着生产效率的高速化，对电镀的速度要求越来越高，如引线框架中的镀银需要1微米/秒。如此的高速度，一般电镀设备是无法实现的。高新技术的快速发展，对电镀设备提出了新要求。

实用新型内容

本实用新型的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种高速电镀设备用双向旋转阴极机构，更大程度改善了阴极附近的金属离子分布状况，有利于消除阴极表面气泡的形成，提高了电镀速度，保证镀层质量。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现：

一种高速电镀设备用双向旋转阴极机构，该机构设置在操作台上，包括支架、马达、联轴器、阴极轴、导电机构及试样夹具组件，所述的支架经螺栓连接固定在操作台上，所述的马达、联轴器、导电机构、阴极轴及试样夹具组件依次连接，马达设置在支架上，马达接通电源后，可根据需要实现单向双向旋转。

所述的支架上设有调整试样与阳极的相对距离及试样与水平方向夹角的丝杠。

所述的马达经联轴器与阴极轴驱动连接。

所述的导电机构由电刷、弹簧及支撑板构成。

所述的试样夹具组件与阴极轴经螺栓连接，方便拆装，试样夹具组件根据试样的大小进行更换。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1.可实现双向旋转模式，改变镀液在镀槽中的流动模型，减小镀液流动死区，使得镀液中预镀离子更均匀，减少阴极浓差极化现象；提高极限电流密度；有效消除试样表面气泡的形成，提高电镀速度，保证镀层质量。

2.阴极与水平呈约45°夹角，并可进行微调，能更好的防止阴极表面杂质的沉积和气泡的形成，结构相对简单，方便试样的安装，适合电镀中随时观察镀层状况。

3.支架利用丝杠可根据需要调整试样与阳极的距离，有利于提高电镀速度，保证镀层质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中，1为支架、2为马达、3为联轴器、4为导电机构、5为阴极轴、6为试样夹具组件、7为操作台。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。

实施例

一种高速电镀设备用双向旋转阴极机构，其结构如图1所示，该机构设置在操作台7上，包括支架1、马达2、联轴器3、导电机构4、阴极轴5及试样夹具组件6，支架1经螺栓连接固定在操作台7上，马达2、联轴器3、导电机构4、阴极轴5及试样夹具组件6依次连接。在支架1上设有调整试样与阳极的相对距离及试样与水平方向夹角的丝杠。马达2设置在支架1上，马达2接通电源后，可根据需要实现单向双向旋转，马达2经联轴器3与阴极轴5驱动连接。导电机构4由电刷、弹簧及支撑板构成。试样夹具组件6与阴极轴5经螺栓连接，方便拆装。另外，试样夹具组件6还可以根据试样的大小进行更换。

本实用新型的工作原理如下：电镀设备操作台7保持静止，马达2接通电源后，可根据需要实现单向双向旋转，带动阴极轴5及试样夹具组件6旋转，实现机械搅拌；导电机构4与电镀电源接通，继而电刷通电，使阴极轴5与阳极产生电位差，实现电镀。