[实用新型]一种碳化硅浆软着陆装卸载装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，更具体地说，涉及一种碳化硅浆软着陆装卸载装置。

背景技术

在进行基片表面镀膜时，首先将未镀膜的基片插入石墨舟中，将载有基片的石墨舟放置在等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)真空镀膜设备石英反应室中，采用合适的PECVD工艺对基片进行镀膜。镀膜结束后，从PECVD真空镀膜设备的石英反应室中取出石墨舟，然后再将经过镀膜的基片从石墨舟上取下来。

目前常采用一种碳化硅软着陆装载机构来实现自动运送装载基片的石墨舟进入并放置于石英反应室中，或将石墨舟从石英反应室中取出。目前碳化硅浆软着陆装卸载机构水平运动采用的是丝杠传动方式，这种方式对于长距离移动来说，制造精度高，安装复杂，成本高，且丝杆需要油来润滑，对洁净室产生污染，运动噪音大；且目前碳化硅浆软着陆装卸载机构中所有的驱动采用步进电机，其启动力矩小，容易产生丢步，所以运行精度低。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种结构简单、安装方便、维护成本低、噪音小的碳化硅浆软着陆装卸载装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

构造一种碳化硅浆软着陆装卸载装置，包括用于连接碳化硅浆的固定件和基体，所述基体上设置有用于驱动所述固定件沿竖直方向运动的升降运动机构和用于驱动所述升降运动机构和所述固定件一起沿水平方向运动的水平运动机构；所述水平运动机构包括两条设置在所述基体上的水平导轨，所述水平导轨上设置有可相对所述水平导轨滑动的水平溜板，所述升降运动机构固定设置在所述水平溜板上；其中，所述水平运动机构还包括与所述水平溜板连接、以驱动所述水平溜板相对所述水平导轨滑动的水平同步传动带，所述水平同步传动带连接有水平运动电机。

本实用新型所述的碳化硅浆软着陆装卸载装置，其中，所述升降运动机构包括设置在所述水平溜板上的升降导轨，所述升降导轨上设置有可相对所述升降导轨滑动的升降溜板；

所述升降运动机构还包括与所述升降溜板驱动连接、以驱动所述升降溜板沿所述升降导轨上下滑动的升降丝杆，所述升降丝杆连接有升降运动电机。

本实用新型所述的碳化硅浆软着陆装卸载装置，其中，所述水平运动电机为伺服电机。

本实用新型所述的碳化硅浆软着陆装卸载装置，其中，所述升降运动电机为伺服电机。

本实用新型所述的碳化硅浆软着陆装卸载装置，其中，所述固定件包括固定设置在所述升降溜板上的悬臂板和设置在所述悬臂板上、用于连接碳化硅浆的固定腔。

本实用新型所述的碳化硅浆软着陆装卸载装置，其中，所述升降运动电机的输出轴与涡轮蜗杆减速机的空心动力输入轴连接，所述涡轮蜗杆减速机的空心动力输出轴与所述升降丝杆的一端连接。

本实用新型的有益效果在于：通过采用水平同步传动带替代现有技术中的丝杆带动水平溜板沿水平导轨滑动，从而带动升降运动机构和固定件一起沿水平方向运动，降低了碳化硅浆软着陆装卸载装置制造中对零件的精度要求，降低了制造成本，且结构简单，安装方便，同时由于水平同步传动带工作时不需要使用油润滑，因此也降低了碳化硅浆软着陆装卸载装置的维护费用，且不会产生污染，运行起来噪音低。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型较佳实施例的碳化硅浆软着陆装卸载装置立体结构示意图；

图2是本实用新型较佳实施例的碳化硅浆软着陆装卸载装置正面结构示意图；

图3是本实用新型较佳实施例的碳化硅浆软着陆装卸载装置沿图2中A-A向的剖视图；

图4是本实用新型较佳实施例的碳化硅浆软着陆装卸载装置侧面示意图；

图5是本实用新型较佳实施例的碳化硅浆软着陆装卸载装置的等轴侧视图。

具体实施方式