[发明专利]可自锁的基片挡板组件

说明书

技术领域

本发明属于镀膜技术领域，具体地说是一种可自锁的基片挡板组件。

背景技术

目前，在国内制备镀膜领域中，经常需要用一台设备的多基片样品台做多层膜，并可以用该设备的单基片样品台做合金膜，在机械设计上需要一套在做多层膜可以有效遮挡不工作基片的基片挡板组件，以保证不工作基片不被污染，但在做合金膜时，该基片挡板组件需要拆卸下来，避免遮挡共溅靶的辉光。目前，基片挡板组件的中间轴和下面主动轴是通过豁口销轴的结构实现上述功能的，如图1所示。但是，豁口和销轴必须得存在一定的间隙，基片挡板组件惯性比较大，上述间隙会造成，长时间运转后初始定位会跑偏。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的在于提供一种可自锁的基片挡板组件。该基片挡板组件实现有效自锁，解决了原来豁口和销轴因间隙产生的跑偏现象。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种可自锁的基片挡板组件，其特征在于：包括大基板挡板、中间轴、主动轴及驱动机构，其中大基板挡板和中间轴设置于真空腔体内，所述大基板挡板设置于中间轴的上端，中间轴的下端端部为斜面I，所述主动轴的一端与驱动机构连接，另一端为与中间轴下端端部的斜面I相对应的斜面II、并插入真空腔体内，所述主动轴与真空腔体下端的真空室大法兰转动连接，主动轴的另一端上套设有套筒，所述中间轴的下端端部的斜面I插入所述套筒内、并与主动轴另一端的斜面II相配合；所述主动轴通过驱动机构驱动旋转、并通过摩擦传递带动中间轴旋转，中间轴和主动轴通过摩擦角实现自锁。

所述驱动机构包括电机和减速器，其中减速器一端与电机连接，另一端与所述主动轴连接。所述减速器与主动轴之间设有动密封组件。所述动密封组件采用J型密封圈转轴或磁流体。

所述中间轴转动安装于真空腔体内设有的支架上。

本发明的优点及有益效果是：本发明把基片挡板组件的中间轴和下面主动轴通过摩擦传递转动，可实现有效自锁，解决了原来豁口和销轴因间隙产生的跑偏现象。

附图说明

图1为现有基片挡板组件豁口销轴的结构示意图；

图2为本发明的结构示意图。

其中：1为大基片挡板，2为中间轴，3为真空室大法兰，4为主动轴，5为动密封组件，6为减速器，7为电机，8为真空腔体。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步描述。

如图2所示，本发明包括大基板挡板1、中间轴2、主动轴4及驱动机构，其中大基板挡板1和中间轴2设置于真空腔体8内，中间轴2转动安装于真空腔体8内设有的支架上，大基板挡板1设置于中间轴2的上端，中间轴2的下端端部为斜面I。主动轴4的一端与驱动机构连接，另一端为与中间轴2下端端部的斜面I相对应的斜面II、并插入真空腔体8内，主动轴4与真空腔体8下端的真空室大法兰3转动连接，主动轴4的另一端上套设有套筒，中间轴2的下端端部的斜面I插入所述套筒内、并与主动轴4另一端的斜面II相配合。

所述驱动机构包括电机7、动密封组件5和减速器6，其中减速器6一端与电机7的输出端连接，另一端与动密封组件5连接，动密封组件5与主动轴4连接。动密封组件5采用J型密封圈转轴或磁流体。

主动轴4通过驱动机构驱动旋转、并通过摩擦传递带动中间轴2旋转，中间轴2和主动轴4通过摩擦角实现有效自锁。大基片挡板1和中间轴2在做合金膜时，打开真空腔体8可整体拆卸下来，而下面的主动轴4、动密封组件5、减速器6及电机7部分不需要拆卸，避免破坏真空密封结构。