[发明专利]可自锁的基片挡板组件有效
| 申请号： | 201210590798.0 | 申请日： | 2012-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN103045994A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 郭东民;刘丽华;冯彬;孙影;佟雷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/04 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 挡板 组件 | ||
1.一种可自锁的基片挡板组件，其特征在于：包括大基板挡板(1)、中间轴(2)、主动轴(4)及驱动机构，其中大基板挡板(1)和中间轴(2)设置于真空腔体(8)内，所述大基板挡板(1)设置于中间轴(2)的上端，中间轴(2)的下端端部为斜面I，所述主动轴(4)的一端与驱动机构连接，另一端为与中间轴(2)下端端部的斜面I相对应的斜面II、并插入真空腔体(8)内，所述主动轴(4)与真空腔体(8)下端的真空室大法兰(3)转动连接，主动轴(4)的另一端上套设有套筒，所述中间轴(2)的下端端部的斜面I插入所述套筒内、并与主动轴(4)另一端的斜面II相配合；所述主动轴(4)通过驱动机构驱动旋转、并通过摩擦传递带动中间轴(2)旋转，中间轴(2)和主动轴(4)通过摩擦角实现自锁。
2.按权利要求1所述的可自锁的基片挡板组件，其特征在于：所述驱动机构包括电机(7)和减速器(6)，其中减速器(6)一端与电机(7)连接，另一端与所述主动轴(4)连接。
3.按权利要求2所述的可自锁的基片挡板组件，其特征在于：所述减速器(6)与主动轴(4)之间设有动密封组件(5)。
4.按权利要求3所述的可自锁的基片挡板组件，其特征在于：所述动密封组件(5)采用J型密封圈转轴或磁流体。
5.按权利要求1所述的可自锁的基片挡板组件，其特征在于：所述中间轴(2)转动安装于真空腔体(8)内设有的支架上。
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