[发明专利]一种驱动装置

说明书

技术领域

本发明涉及驱动技术领域，特别是涉及一种驱动装置。

背景技术

机械手一般需要驱动装置进行驱动，例如，通过驱动装置控制各个机械手臂执行设定的规定动作，目前已经广泛应用于工业自动化生产的各个领域。

在洁净自动化传输领域，例如半导体、太阳能和医药制造等领域，通常需要将驱动部件与输出轴进行隔离，以避免驱动部件中产生的粉尘进入生产环境，造成对环境的污染。例如，在半导体制造中的真空工艺腔室中，需要使用机械手进行晶圆的自动化搬运，为了避免机械手的电机及其减速装置对真空工艺腔室造成污染，目前最常用的解决方法是在输出轴与减速装置或输出轴与电机之间加入动密封装置，比较常用的动密封装置为磁流体密封型式，但这种方式造价昂贵，且需要占用珍贵的工艺腔室空间。

因此，设计一种驱动装置，能够适应高洁净度环境下的自动化驱动，且运动灵活可靠，是目前亟待解决的问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种驱动装置，能够适应高洁净度环境下的洁净自动化驱动，且运动灵活可靠。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种驱动装置，所述驱动装置包括控制单元、驱动单元、输出单元和检测单元，所述控制单元与驱动单元连接，所述驱动单元与输出单元连接，所述检测单元分别与输出单元和控制单元连接，所述驱动单元包括电机定子和电机转子，所述电机转子与输出单元固定联接，在所述电机定子和电机转子之间设有隔离套。

优选地，所述驱动装置还包括电机外壳，所述电机定子安装在电机外壳上，所述隔离套和电机外壳之间设有密封圈。优选地，所述隔离套的中部朝内侧设有一圈凸起。

优选地，所述输出单元包括输出轴，所述电机转子与输出轴固定联接。

优选地，所述检测单元包括光栅盘和读码盘，所述光栅盘与输出轴固定联接。

优选地，所述驱动单元包括至少2组同轴放置的电机定子和至少2组同轴放置的电机转子，所述输出单元包括至少2组同轴放置的输出轴，所述检测单元包括至少2组同轴放置的光栅盘和至少2组同轴放置的读码盘。

优选地，所述至少2组电机定子安装在电机外壳上，呈上下同轴分布，所述至少2组电机转子同轴放置在至少2组电机定子的内侧。

优选地，所述电机外壳包括第一电机外壳和第二电机外壳，所述电机定子包括第一电机定子、第二电机定子、第三电机定子和第四电机定子，所述第一电机定子和第二电机定子安装在第一电机外壳上，所述第三电机定子和第四电机定子安装在第二电机外壳上，所述第一电机外壳和第二电机外壳均由上下两部分组成，所述上下两部分之间通过螺钉联接，所述隔离套分别与第一电机外壳的上下两部分之间贴合的端部各设有一个密封圈，所述隔离套分别与第二电机外壳的上下两部分之间贴合的端部各设有一个密封圈。

优选地，所述读码盘与电机外壳固定联接，所述输出轴与机械手臂固定联接。

优选地，所述隔离套由无磁性不锈钢制成。

本发明的有益效果在于：在电机转子和电机定子之间设置隔离套，将电机定子及其他易产生粉尘的零部件与电子转子隔离，从而也与输出单元隔离，适用于高洁净度环境，例如真空以及其他洁净环境；输出单元与电机转子直接连接，中间无动密封装置，减少了中间的不可靠部件，提高了运行精度，满足高精度、高可靠性的要求。

附图说明

图1为本发明一优选实施例的驱动装置的剖视图；

图2为图1中隔离套的结构示意图；

图3为本发明一优选实施例的驱动装置的结构框图。

图标说明：

1控制单元，          2驱动单元，

211第一电机定子，    212第二电机定子，

213第三电机定子，    214第四电机定子，

221第一电机转子，    222第二电机转子，

223第三电机转子，    224第四电机转子，

3输出单元，          31第一输出轴，

32第二输出轴，       33第三输出轴，

34第四输出轴，       4检测单元，

411第一光栅盘，      412第二光栅盘，

413第三光栅盘，      414第四光栅盘，

421第一读码盘，      422第二读码盘，

423第三读码盘，      424第四读码盘，

51第一隔离套，       52第二隔离套，