[发明专利]一种利用金属光栅实现宽带可调谐硅波导光学非线性四波混频增强的方法

权利要求书

1.一种利用金属光栅实现宽带可调谐硅波导光学非线性四波混频增强的方法，在金属衬底上设置硅波导，其特征在于，所述硅波导上周期性地设置金属光栅。

2.根据权利要求1所述的利用金属光栅实现宽带可调谐硅波导光学非线性四波混频增强的方法，其特征在于，所述硅波导厚度h为60nm-120nm，金属光栅厚度t为50nm，金属光栅周期d的范围是：600nm-1200nm，金属光栅宽度l的范围：0-1000nm。

3.根据权利要求2所述的利用金属光栅实现宽带可调谐硅波导光学非线性四波混频增强的方法，其特征在于，硅波导厚度h为100nm，金属光栅厚度t为50nm，金属光栅周期d为1000nm，金属光栅宽度l为224nm。

4.根据权利要求1、2或3所述的利用金属光栅实现宽带可调谐硅波导光学非线性四波混频增强的方法，其特征在于，所述金属衬底的材料为金（Au），所述金属光栅的材料为金（Au）。