[发明专利]能束照射系统和工件传输机构

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于照射能束的能束照射系统，诸如离子注入装置或电子束照射装置，并且涉及用于该能束照射系统的工件传输机构。

背景技术

在专利文献1中公开的单件式离子注入装置中，设有两个晶片驱动机构以使晶片彼此独立地作轨道运动。此外，两个晶片的轨道适于在离子束照射区域中彼此匹配，并且每个晶片的轨道运动速度和轨道运动相位是受控的。这样，两个晶片中的任何一个总是经过离子束照射区域。因此，可以增加离子束在晶片上的照射效率。

并且，在专利文献1中，晶片的轨道在包括射束照射区域的直线轨道部分中彼此匹配，并且除该直线轨道部分之外的部分被划分成在该直线轨道部分的两侧上的两个部分。

[相关技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]JP-A-10-134761

发明内容

然而，根据该构造，存在以下问题：需要确保两个轨道的足够空间并且因此难以超过一定水平地实现离子注入装置的紧凑性。并且，对于用于将能束照射在工件上的能束照射系统以及离子注入装置，该问题通常是普遍的。

为解决上述问题而完成本发明，并且本发明的一个目的在于提供一种能够在将能束有效地照射在工件上的同时实现显著的紧凑构造的能束照射系统。

也就是说，根据本发明的能束照射系统包括能束发射机构、第一轨道运动机构和第二轨道运动机构。所述能束发射机构朝预定的照射区域发射能束，以照射作为目标的至少一个第一工件和至少一个第二工件。所述第一轨道运动机构使所述至少一个第一工件沿着预定的第一轨道作轨道运动，所述第一轨道包括所述照射区域。所述第二轨道运动机构使所述至少一个第二工件沿着预定的第二轨道作轨道运动，所述第二轨道包括所述照射区域。当从垂直于由所述第一轨道和所述第二轨道形成的轨道运动表面的方向观看时，由所述第一轨道包围的第一区域和由所述第二轨道包围的第二区域至少部分地重叠。

在这里，术语“重叠”不包括由第一轨道包围的第一区域和由第二轨道包围的第二区域彼此接触的状态。

作为一个具体实施例，所述第一轨道和所述第二轨道中的每一个包括彼此平行的直线轨道和连接在所述直线轨道的端部之间的半圆形轨道。在所述第一轨道中，一个半圆形轨道具有第一中心，并且另一半圆形轨道具有第二中心。在所述第二轨道中，一个半圆形轨道具有第三中心，并且另一半圆形轨道具有第四中心。当从垂直于所述第一轨道和所述第二轨道的所述轨道运动表面的方向观看时，所述第一轨道的第一中心与所述第二轨道的第三中心彼此匹配，并且所述第一轨道的第二中心与所述第二轨道的第四中心彼此匹配。

根据该构造，两个轨道彼此匹配，并且因此能够促进紧凑性。此外，即使两个轨道不是彼此匹配的，两个轨道的半圆形轨道的转动半径也能够彼此近似。因此，能够进一步促进紧凑性。

最能促进紧凑性的优选实施例具有第一轨道和第二轨道中的每一个彼此匹配的构造。

为增加使用两个轨道的能束的照射效率，优选的是：在已进入所述照射区域的所述至少一个第一工件完全经过所述照射区域之前，所述至少一个第二工件进入所述照射区域。

在该情况下，当分别沿着第一轨道和第二轨道的轨道运动方向多个并排地布置所述至少一个第一工件和所述至少一个第二工件时，能够将能束更长时间地照射在所述至少一个第一工件或所述至少一个第二工件中的一个工件上。同时，能够使其它工件作轨道运动并移动到在该一个工件的后面的位置。

当从垂直于所述轨道运动表面的方向观看时所述至少一个第一工件和所述至少一个第二工件中的每一个工件均在沿着对应的轨道作轨道运动一次时返回至所述每一个工件的初始旋转角度的该情况下，能够防止配线的扭转或由该扭转导致的断开。

除了上面的效果外，为在经过能束的照射区域的背侧时减少能束的影响，所述至少一个第一工件和所述至少一个第二工件中的每一个工件均具有面向能束照射方向的能束照射侧和所述能束照射侧的背侧，并在从所述照射区域移动至背侧区域期间旋转180度，在所述背侧区域，所述背侧面向所述能束照射方向。并且，所述至少一个第一工件和所述至少一个第二工件中的每一个工件在从所述背侧区域移动至所述照射区域期间旋转负180度，使得所述至少一个第一工件和所述至少一个第二工件中的每一个工件转动至所述每一个工件的初始旋转角度。

[发明的效果]