[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法及印刷配线板的制造方法

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有：

分散度为1.55以下的粘合剂聚合物；

光聚合性化合物；以及

含有具有1个或2个吖啶基的吖啶化合物的光聚合引发剂，

所述具有1个或2个吖啶基的吖啶化合物的含量相对于所述分散度为1.55以下的粘合剂聚合物及所述光聚合性化合物的固体成分总量100质量份为0.1～0.5质量份。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述粘合剂聚合物具有基于从由(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苄酯衍生物、苯乙烯及苯乙烯衍生物组成的组中选择的至少1种聚合性单体的结构单元。

3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述粘合剂聚合物具有基于从由(甲基)丙烯酸苄酯及(甲基)丙烯酸苄酯衍生物组成的组中选择的至少1种聚合性单体的结构单元、和基于从由苯乙烯及苯乙烯衍生物组成的组中选择的至少1种聚合性单体的结构单元这两方。

4.根据权利要求2或3所述的感光性树脂组合物，其中，所述基于(甲基)丙烯酸苄酯或其衍生物的结构单元的含量以构成粘合剂聚合物的聚合性单体的总质量为基准为5质量％以上。

5.根据权利要求2或3所述的感光性树脂组合物，其中，所述基于(甲基)丙烯酸苄酯或其衍生物的结构单元的含量以构成粘合剂聚合物的聚合性单体的总质量为基准为10质量％以上。

6.根据权利要求2或3所述的感光性树脂组合物，其中，所述基于(甲基)丙烯酸苄酯或其衍生物的结构单元的含量以构成粘合剂聚合物的聚合性单体的总质量为基准为20质量％以上。

7.根据权利要求2或3所述的感光性树脂组合物，其中，所述基于(甲基)丙烯酸苄酯或其衍生物的结构单元的含量以构成粘合剂聚合物的聚合性单体的总质量为基准为80质量％以下。

8.根据权利要求2或3所述的感光性树脂组合物，其中，所述基于(甲基)丙烯酸苄酯或其衍生物的结构单元的含量以构成粘合剂聚合物的聚合性单体的总质量为基准为70质量％以下。

9.根据权利要求2或3所述的感光性树脂组合物，其中，所述基于(甲基)丙烯酸苄酯或其衍生物的结构单元的含量以构成粘合剂聚合物的聚合性单体的总质量为基准为60质量％以下。

10.根据权利要求2或3所述的感光性树脂组合物，其中，所述基于苯乙烯或其衍生物的结构单元的含量以构成粘合剂聚合物的聚合性单体的总质量为基准为10质量％以上。

11.根据权利要求2或3所述的感光性树脂组合物，其中，所述基于苯乙烯或其衍生物的结构单元的含量以构成粘合剂聚合物的聚合性单体的总质量为基准为15质量％以上。

12.根据权利要求2或3所述的感光性树脂组合物，其中，所述基于苯乙烯或其衍生物的结构单元的含量以构成粘合剂聚合物的聚合性单体的总质量为基准为20质量％以上。

13.根据权利要求2或3所述的感光性树脂组合物，其中，所述基于苯乙烯或其衍生物的结构单元的含量以构成粘合剂聚合物的聚合性单体的总质量为基准为70质量％以下。

14.根据权利要求2或3所述的感光性树脂组合物，其中，所述基于苯乙烯或其衍生物的结构单元的含量以构成粘合剂聚合物的聚合性单体的总质量为基准为60质量％以下。

15.根据权利要求2或3所述的感光性树脂组合物，其中，所述基于苯乙烯或其衍生物的结构单元的含量以构成粘合剂聚合物的聚合性单体的总质量为基准为50质量％以下。