[发明专利]半导体激光器光束特性测试装置及测试方法

权利要求书

1.半导体激光器光束特性测试装置，包括半圆形光束接收装置和旋转驱动机构；半导体激光器的输出端位于该半圆形光束接收装置的圆心，半圆形光束接收装置面向半导体激光器安装有多个光接收器，各个光接收器分别接有微型探测器；以半导体激光器的输出光束的光轴为旋转轴，半圆形光束接收装置或半导体激光器由所述旋转驱动机构驱动旋转。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于：所述多个光接收器均匀分布，各个光接收器与半导体激光器的输出端之间的距离相等。

3.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于：所述光接收器为光纤或光波导；微型探测器采用光电二极管或光电倍增管。

4.采用如权利要求1所述测试装置实现半导体激光器光束特性测试的方法，包括以下步骤：

1）半导体激光器的位置保持固定，以半导体激光器的输出光束的光轴为旋转轴，旋转半圆形光束接收装置180度，在旋转过程中，多次测量、记录半圆形光束接收装置上每个光接收器的光强，得到所有光接收器对应于不同旋转角度的光强数据；

2）对数据进行分析处理，获得表征半导体激光器光束特性的信息。

5.采用如权利要求1所述测试装置实现半导体激光器光束特性测试的方法，包括以下步骤：

1）半圆形光束接收装置的位置保持固定，以半导体激光器的输出光束的光轴为旋转轴，旋转半导体激光器180度，在旋转过程中，多次测量、记录半圆形光束接收装置上每个光接收器的光强，得到所有光接收器对应于不同旋转角度的光强数据；

2）对数据进行分析处理，获得表征半导体激光器光束特性的信息。