[发明专利]搬运机器人

说明书

技术领域

本文所公开的实施方式涉及搬运机器人。

背景技术

传统上，可利用有一种搬运机器人，该搬运机器人通过利用臂单元搬运真空室内的处理前的基板或处理后的基板以用于执行成膜处理等。

在搬运机器人用来搬运例如经受成膜处理的基板的情况下，存在搬运机器人可能会由热基板加热的可能性。

在这点上，已经提出一种搬运机器人，该搬运机器人包括：散热器板，该散热器板设置在臂单元的基端部处从而借助热传导将从基板传递的热量传送通过臂单元；以及受热板，该受热板以与散热器板对置的关系设置在真空室内的特定位置（见，例如国际专利公布No.WO 06/062183）。

通过上述构造，来自基板的热被送回到真空室，使得热能应该不会积聚在搬运机器人中。

然而，上述技术只是其中臂单元恰好接收来自基板的热量并且将该热量送回到真空室的技术。换言之，在上述常规技术中，臂单元不能避免接收到来自基板的热量。

如果臂单元接收到来自基板的热量，那么存在臂单元可能被膨胀或存储在臂单元内的驱动机构可能被加热和膨胀的可能性。这可能妨碍机器人的精确控制。

发明内容

本文所公开的实施方式提供一种能够抑制臂单元被基板的辐射热量加热的搬运机器人。

根据本公开内容的一方面，提供一种搬运机器人，其包括：第一臂，该第一臂具有以可旋转的方式连接到臂基部的基端，该第一臂包括设置在其中的指定驱动系统；第二臂，该第二臂具有以可旋转的方式连接到所述第一臂的末端部上的基端部，该第二臂由所述第一臂驱动；手，该手具有以可旋转的方式连接到所述第二臂的末端部上的手基部，所述手用来保持基板；以及反射板，该反射板设置在所述第一臂和所述第二臂之间并且构造成向上反射来自被保持在所述手上的所述基板的热量。

根据一个实施方式，可以抑制臂单元被基板的辐射热量加热。

附图说明

图1是示出根据实施方式的搬运机器人的示意性说明侧剖面图；

图2是该搬运机器人的说明平面图；

图3是示出该搬运机器人的第一臂的内部结构的示意性说明平面图；

图4是示出该搬运机器人的第一臂的内部结构的示意性说明竖直剖面图。

具体实施方式

在下文中，将参照形成本发明一部分的附图详细地描述本文所公开的搬运机器人的实施方式。然而，本公开内容不限于下述实施方式。

首先，将参照图1和图2描述根据本实施方式的搬运机器人的示意性构造。图1是示出根据本实施方式的搬运机器人的示意性说明侧剖面图。图2是该搬运机器人的说明平面图。

如图1所示，根据本实施方式的搬运机器人1是水平多关节型机器人，该机器人包括：臂单元20，该臂单元具有能够沿水平方向延伸和缩回的两个可延伸臂；和用于支撑该臂单元20的本体单元10。搬运机器人1安装在真空室30中。真空室30由真空泵等保持处于减压状态。

本体单元10是设置在臂单元20下面的单元并且构成机器人本体。本体单元10包括壳体11和被容纳在壳体11中的升降装置（未示出）。本体单元10能够通过使用升降装置来沿竖直方向上下移动臂单元20。本体单元10的壳体11从真空室30向下突出并且位于限定在支撑真空室30的支撑单元35内的空间中。

设置在本体单元10的壳体11内的升降装置构造成包括例如马达、滚珠丝杠和滚珠螺母。升降装置通过将马达的旋转运动转变成直线运动来上下移动臂单元20。

在壳体11的上部中形成凸缘12。搬运机器人1通过将凸缘12固定到真空室30而被安装在真空室30中。凸缘12借助密封构件固定到在真空室30的底部中形成的开口31的边缘部。

臂单元20是与作为机器人本体的本体单元10连接的单元。臂单元20包括臂基部21、第一臂22、第二臂23和手基部24。作为能够保持诸如玻璃基板或半导体晶片之类的基板3（在下文中有时称为“工件”）的末端执行器的叉状手24a被安装到手基部24。

在下列描述中，图2中手24a的前进-后退方向将称为“X-轴方向”。水平地正交于X-轴方向的方向将被称为“Y-轴方向”。与X-轴方向和Y-轴方向正交的方向（即，竖直方向）将称为“Z-轴方向”。