[发明专利]图案化金属线路的制备方法有效

专利信息
申请号: 201210376515.2 申请日: 2012-09-28
公开(公告)号: CN103219243A 公开(公告)日: 2013-07-24
发明(设计)人: 金云霞;肖斐 申请(专利权)人: 复旦大学
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;C23C18/31;C23C18/18
代理公司: 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 代理人: 卢刚
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 图案 金属 线路 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种图案化金属线路的制备方法,其特征在于,包含以下步骤:

提供一基底;

利用配制的活化液和光刻或印刷技术,在所述基底上制备图案化多巴胺类基底表面;其中,在所述活化液中加入有多巴胺类物质;

将所述图案化的基底置于金属镀液中,在所述基底表面裸露有多巴胺类物质的地方沉积一层金属;所述金属镀液中加入有还原剂;

所述图案化金属线路为图案化导电薄膜或精细线路;

其中,如果待制备的图案化导电薄膜为单面图案化导电薄膜,则在所述基底上制备图案化多巴胺类基底表面的步骤中,在所述基底的一面涂上无法与金属反应的阻挡层后再在该基底的另一面制备所述图案化多巴胺类基底表面;或者,在将所述图案化的基底置于金属镀液中的步骤前,将基底的未图案化的一面涂上所述阻挡层。

2.根据权利要求1所述的图案化金属线路的制备方法,其特征在于,所述还原剂为以下之一或其任意组合的混合物:

葡萄糖、甲醛、酒石酸、酒石酸钾钠、二甲基胺基硼烷、硼氢化钠、二盐酸肼、硫酸肼、肼、次磷酸钠、乙醛酸、苹果酸、次亚磷酸钠、柠檬酸、柠檬酸钠、抗坏血酸、N,N-二甲基甲酰胺、乙二醇、戊二醛。

3.根据权利要求1所述的图案化金属线路的制备方法,其特征在于,所述利用配制的活化液和光刻或印刷技术,在所述基底上制备图案化多巴胺类基底表面的步骤中,包含以下子步骤:

将所述基底置于所述活化液中;

从所述活化液中取出所述基底后,将需图案化的一面基底进行光刻或印刷,得到所述图案化多巴胺类基底表面;

在将所述图案化的基底置于金属镀液中的步骤之后,还执行以下步骤:

除去所述光刻或印刷过程中用于光刻或印刷的物质。

4.根据权利要求3所述的图案化金属线路的制备方法,其特征在于,所述用于光刻或印刷的物质包含:

光刻胶、压印胶、油墨、不与金属反应的物质。

5.根据权利要求1所述的图案化金属线路的制备方法,其特征在于,所述利用配制的活化液和光刻或印刷技术,在所述基底上制备图案化多巴胺类基底表面的步骤中,包含以下子步骤:

对所述基底的需图案化的一面进行光刻或印刷,形成所需的图案;

将所述基底置于所述活化液中;

从所述活化液中取出所述基底后,除去所述光刻或印刷过程中用于光刻或印刷的物质,得到所述图案化多巴胺类基底表面。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的图案化金属线路的制备方法,其特征在于,

在将所述基底置于所述活化液中时,所述活化液暴露在空气中,或者,将氧气通入到所述活化液中,或者,在所述活化液中加入氧化性物质。

7.根据权利要求3至5中任一项所述的图案化金属线路的制备方法,其特征在于,

所述基底置于所述活化液内的时长为1秒至100小时;

所述基底置于所述活化液内时的反应温度小于100°C。

8.根据权利要求1所述的图案化金属线路的制备方法,其特征在于,所述活化液中pH缓冲物质为磷酸二氢钠-柠檬酸缓冲液、磷酸氢二钠-磷酸二氢钠缓冲液、巴比妥钠盐酸缓冲液、Tris-盐酸缓冲液、碳酸钠-碳酸氢钠缓冲液中的任意一种。

9.根据权利要求1所述的图案化金属线路的制备方法,其特征在于,

所述活化液的pH值范围为2至11。

10.根据权利要求1所述的图案化金属线路的制备方法,其特征在于,所述多巴胺类物质为如下任一结构式的多巴胺类物质,或者为如下任一结构式的多巴胺类物质的聚合体、配位体、酸式盐或碱式盐:

其中,R为烷基或取代烷基,R1为H、烷基或取代烷基,R2为H、烷基或取代烷基。

11.根据权利要求1所述的图案化金属线路的制备方法,其特征在于,所述金属镀液为商品化金属镀液,或者,所述金属镀液由以下组分组成:

金属盐、溶剂水、还原剂、添加剂;

其中,所述金属盐为铜盐或银盐。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于复旦大学,未经复旦大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210376515.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top