[发明专利]熔丝元件在审
申请号: | 201210362607.5 | 申请日: | 2012-09-26 |
公开(公告)号: | CN103022001A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | J.M.克里斯特曼;W.哈特曼;B.帕尔;S.亚马扎基;R.泽内里 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
主分类号: | H01L23/522 | 分类号: | H01L23/522;H01L23/525 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 徐红燕;刘春元 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 元件 | ||
1.一种熔丝元件(10),包括;
有源熔丝响应部分,其由由以下各项提供的至少两个平行金属子条(9)形成:
自支撑细长熔丝金属条(1)内的至少一个细长凹坑(7)。
2.根据权利要求1所述的熔丝元件(10),
其特征在于由自支撑细长熔丝金属箔来提供自支撑细长熔丝金属条(1)。
3.根据权利要求1所述的熔丝元件(10),
其特征在于所述自支撑细长熔丝金属条(1)是由第一细长熔丝金属箔提供的,其被电介质材料加强,从而形成自支撑复合材料。
4.根据权利要求2或3所述的熔丝元件(10),
其特征在于所述电介质材料是聚合物层(3)。
5.根据权利要求4所述的熔丝元件(10),
其特征在于所述聚合物层是自支撑聚合物箔。
6.根据权利要求4所述的熔丝元件(10),
其特征在于在与第一细长熔丝金属箔相对的聚合物层(3)的表面上沉积的第二细长熔丝金属箔。
7.根据权利要求6所述的熔丝元件(10),
其特征在于
在具有相互之间的横向偏移的情况下沉积不同细长熔丝金属箔的平行金属子条(9)。
8.根据权利要求6或7所述的熔丝元件(10),
其特征在于
两个平行金属子条(9)是由每个细长熔丝金属箔的边缘区域内的细长凹坑形成的。
9.根据权利要求8所述的熔丝元件(10),
其特征在于自支撑细长熔丝金属条(1)在熔丝元件的有源响应部分的一个纵向侧成角度以提供横向电连接部分并在响应期间向熔丝元件的有源响应部分的另一纵向侧提供驱动弧的电流环路。
10.根据权利要求9所述的熔丝元件(10),
其特征在于自支撑细长熔丝金属条(1)被保护层(5)覆盖。
11.根据权利要求10所述的熔丝元件(10),
其特征在于自支撑细长熔丝金属条(1)的金属由铝(Al)、银(Ag)或铜(Cu)制成。
12.根据权利要求10所述的熔丝元件(10),
其特征在于所述保护层(5)由聚合物材料制成。
13.根据权利要求10所述的熔丝元件(10),
其特征在于保护层(5)由金属氧化物或二氧化硅SiO2层制成。
14.根据权利要求8所述的熔丝元件(10),
其特征在于
所述至少两个并行金属子条(9)中的每一个沿着其长度包括至少一个弯曲细长边缘,以便在其形成的同时在两个边缘上具有类似的应变速率。
15.根据权利要求8所述的熔丝元件(10),
其特征在于
两个平行金属子条(9)是由自支撑细长熔丝金属条(1)的中间区域内的细长凹坑(7)形成的。
16.一种用于制作由以下步骤制造的熔丝元件(10)的方法:
提供有源熔丝响应部分,其包括通过在自支撑细长熔丝金属条(1)内产生至少一个细长凹坑(7)形成的至少两个平行金属子条(9)。
17.根据权利要求16所述的方法
其特征在于
由自支撑细长熔丝金属箔来提供自支撑细长熔丝金属条(1)。
18.根据权利要求16所述的方法,
其特征在于
由被电介质材料加强、从而形成自支撑复合材料的第一细长熔丝金属箔来提供自支撑细长熔丝金属条(1)。
19.根据权利要求17或18所述的方法,
其特征在于
所述电介质材料是聚合物层(3)。
20.权利要求19所述的方法,
其特征在于
所述聚合物层(3)是自支撑聚合物箔。
21.权利要求19所述的方法,
其特征在于
在与第一细长熔丝金属箔相对的聚合物层(3)的表面上叠加第二细长熔丝金属箔。
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