[发明专利]一种取向膜固化装置及其使用方法有效
申请号: | 201210236396.0 | 申请日: | 2012-07-09 |
公开(公告)号: | CN102778787A | 公开(公告)日: | 2012-11-14 |
发明(设计)人: | 孔德钱 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 郭润湘 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 取向 固化 装置 及其 使用方法 | ||
1.一种取向膜固化装置,其特征在于,包括:微波加热腔体和设置在所述微波加热腔体内部的微波加热部;
所述微波加热部,用于对放置在所述微波加热腔体内部的具有待固化取向液的基板进行微波加热,直至所述待固化取向液固化为取向膜。
2.如权利要求1所述的取向膜固化装置,其特征在于,所述微波加热部为板状结构,且设置在所述微波加热腔体的内侧壁、顶壁或底面。
3.如权利要求2所述的取向膜固化装置,其特征在于,当所述微波加热部设置在所述微波加热腔体的顶壁或底面时,所述微波加热部的发射面的面积不小于所述具有待固化取向液的基板的面积。
4.如权利要求2所述的取向膜固化装置,其特征在于,当所述微波加热部设置在所述微波加热腔体的内侧壁时,所述微波加热部的发射面的面积不小于与其相对的所述具有待固化取向液的基板的侧面的面积。
5.如权利要求1所述的取向膜固化装置,其特征在于,所述微波加热部发射微波的频率为4500±100MHz,所述微波加热部的输出功率为75KW-100KW。
6.如权利要求1-5任一项所述取向膜固化装置,其特征在于,还包括:设置在所述微波加热腔体外壁的第一保温层和/或设置在所述微波加热腔体内壁与所述微波加热部之间的第二保温层。
7.如权利要求6所述的取向膜固化装置,其特征在于,所述第一保温层和第二保温层的厚度为100mm-300mm。
8.如权利要求1-5任一项所述的取向膜固化装置,其特征在于,还包括:分别设置在所述微波加热腔体两个相对的侧壁上的基板入口和基板出口。
9.一种使用如权利要求1-8任一项所述的取向膜固化装置固化取向膜的方法,其特征在于,包括:
将具有待固化取向液的基板放入所述取向膜固化装置中;
在预设时间内,所述取向膜固化装置使用预设频率和预设输出功率的微波对所述具有待固化取向液的基板进行微波加热,直至所述待固化取向液固化为取向膜。
10.如权利要求9所述的方法,其特征在于,所述预设时间为15s-25s,所述预设频率为4500±100MHz,所述预设输出功率为75KW-100KW。
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