[发明专利]激光单缝-单光栅测量物体微振动振幅的装置有效
| 申请号： | 201210156622.4 | 申请日： | 2012-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN102735324A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 武少文 | 申请（专利权）人： | 山西大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 山西五维专利事务所(有限公司) 14105 | 代理人： | 杨耀田 |
| 地址： | 030006 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 光栅 测量 物体 振动 振幅 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种激光单缝-单光栅测量物体微振动振幅的装置，其特征在于，包括半导体激光器（1）、单缝（2）和单光栅（3），它们依次共轴设置；单缝（2）的缝宽为0.5-1.5mm，单缝（2）与单光栅（3）平行且它们之间的距离为1-5mm，单光栅（3）与振动物体（4）固定在一起，使振动物体（4）的振动方与向单光栅（3）的栅线垂直，且和栅线所在的平面平行；光电探头（5）用于接收通过单光栅（3）的衍射光，光电探头（5）与示波器（6）连接。
2.如权利要求1所述的一种激光单缝-单光栅测量物体微振动振幅的装置，其特征在于，所述的单缝（2）的缝宽为0.8-1.2mm。
3.如权利要求1所述的一种激光单缝-单光栅测量物体微振动振幅的装置，其特征在于，所述的单缝（2）与单光栅（3）平行且它们之间的距离为3mm。
4.如权利要求1所述的一种激光单缝-单光栅测量物体微振动振幅的装置，其特征在于，所述的光电探头（5）用于接收通过单光栅（3）的0级、﹢1级或﹣1级衍射光。
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