[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法、印刷线路板的制造方法在审
| 申请号： | 201210141658.5 | 申请日： | 2012-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN102778815A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 深谷雄大;宫坂昌宏;矶纯一 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033;G03F7/00;H05K3/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 张楠;陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 元件 图案 形成 方法 印刷 线路板 制造 | ||
【权利要求书】：
1.一种感光性树脂组合物，其含有（A）粘合剂聚合物、（B）具有烯属不饱和键的光聚合性化合物和（C）光聚合引发剂，
所述（A）成分含有50～80质量%的（a1）来自（甲基）丙烯酸苄基酯衍生物的结构单元、5～40质量%的（a2）来自苯乙烯衍生物的结构单元、1～20质量%的（a3）来自（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元、以及5～30质量%的（a4）来自（甲基）丙烯酸的结构单元。
2.一种感光性元件，其具备支撑膜以及形成于该支撑膜上的由权利要求1所述的感光性树脂组合物构成的感光性树脂组合物层。
3.一种抗蚀图案的形成方法，其包含：
在基板上层叠由权利要求1所述的感光性树脂组合物构成的感光性树脂组合物层的层叠工序；
在所述感光性树脂组合物层上形成光固化部的曝光工序；和
将除了所述光固化部以外的所述感光性树脂组合物层进行除去的显影工序。
4.一种抗蚀图案的形成方法，其包含：
将权利要求2所述的感光性元件按照所述感光性树脂组合物层、所述支撑膜的顺序层叠于基板上的层叠工序；
在所述感光性树脂组合物层上形成光固化部的曝光工序；和
将除了所述光固化部以外的所述感光性树脂组合物层进行除去的显影工序。
5.一种印刷线路板的制造方法，其对通过权利要求3或4所述的抗蚀图案的形成方法而形成有抗蚀图案的基板，实施蚀刻处理或镀覆处理。
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