[发明专利]光学特性测量装置

权利要求书

1.一种光学特性测量装置，该光学特性测量装置在通过被检测的光学系统导致的物体的像面的附近的多个评估面上获取与被检测的光学系统的图像特性有关的测量值，并且基于各测量值测量被检测的光学系统的光学特性，该光学特性测量装置包括：

测量值校正单元，该测量值校正单元校正所述多个评估面上的与通过被检测的光学系统导致的射束的线扩散分布和点扩散分布中的一个的宽度或光强度有关的测量值，其中，

在测量值与射束的线扩散分布和点扩散分布中的一个的宽度有关的情况下，所述像面被视为评估基准面，并且，测量值校正单元输出校正值，使得当评估面与评估基准面相比接近被检测的光学系统时，测量值根据接近量增加，并且当评估面与评估基准面相比移动离开被检测的光学系统时，测量值根据移动离开量减小；

在测量值与射束的线扩散分布和点扩散分布中的一个的光强度有关的情况下，所述像面被视为评估基准面，并且，测量值校正单元输出校正值，使得当评估面与评估基准面相比接近被检测的光学系统时，测量值根据接近量减小，并且，当评估面与评估基准面相比移动离开被检测的光学系统时，测量值根据移动离开量增加，并且，

基于与测量值相比具有提高的对称性的校正值测量被检测的光学系统的光学特性。

2.根据权利要求1的装置，其中，测量值校正单元根据被检测的光学系统的出射光瞳与所述评估面之间的距离输出校正值。

3.根据权利要求2的装置，其中，被检测的光学系统是包含在相互正交的第一方向和第二方向上在不同的位置处的出射光瞳的变形光学系统，并且，测量值校正单元输出在第一方向和第二方向上不同的校正值。

4.根据权利要求1的装置，其中，在测量值与射束的线扩散分布和点扩散分布中的一个的宽度有关、测量值是Do、被检测的光学系统的出射光瞳与所述像面之间的距离为K、被检测的光学系统的出射光瞳与所述评估面之间的距离为L、并且校正之后的校正值为D的情况下，满足下式：

D＝(K/L)×Do。

5.根据权利要求1的装置，其中，在测量值与射束的线扩散分布和点扩散分布中的一个的光强度有关、测量值是Do、被检测的光学系统的出射光瞳与所述像面之间的距离为K、被检测的光学系统的出射光瞳与评估面之间的距离为L、并且校正之后的校正值为D的情况下，满足下式：

D＝(L/K)×Do。

6.根据权利要求1的装置，其中，在测量值与射束的线扩散分布和点扩散分布中的一个的光强度有关、测量值是Do、被检测的光学系统的出射光瞳与所述像面之间的距离为K、被检测的光学系统的出射光瞳与评估面之间的距离为L、并且校正之后的校正值为D的情况下，满足下式：

D＝(L×L/K)×Do。

7.根据权利要求1的装置，其中，在测量值与射束的线扩散分布和点扩散分布中的一个的光强度有关、测量值是Do、被检测的光学系统的出射光瞳与所述像面之间的沿第一方向的距离和被检测的光学系统的出射光瞳与所述像面之间的沿第二方向的距离的乘积为Kyz、被检测的光学系统的出射光瞳与评估面之间的沿第一方向的距离为Ly、被检测的光学系统的出射光瞳与评估面之间的沿第二方向的距离为Lz、并且校正之后的校正值为D的情况下，满足下式：

D＝(Ly×Lz/Kyz)×Do。

8.根据权利要求1的装置，其中，物体是光源。