[发明专利]一种有金属反射镜的多结太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种有金属反射镜的多结太阳能电池，其结构包括顶电池、0～5个中电池、底电池，所述顶电池、中电池和底电池各以隧穿结连接，顶电池上中部为电极，电极四周有减反膜；其特征在于，在底电池下方有电流通道，电流通道占电池面积的5％-20％，在底电池下方有反射镜，反射镜上面是透明介质，反射镜下面是阻挡层，阻挡层上是键合金属层，键合金属层下面是衬底，衬底背面蒸镀有金属。

2.如权利要求1所述的有金属反射镜的多结太阳能电池，其特征在于，所述的电流通道的形状为矩形、圆形或回型。

3.如权利要求1所述的有金属反射镜的多结太阳能电池，其特征在于，所述的金属反射镜为Au、Ag或Al金属；厚度为500-1500埃。

4.如权利要求1所述的有金属反射镜的多结太阳能电池，其特征在于，所述的透明介质材料选自氧化铟锡或者二氧化硅；厚度为500-3000埃。

5.如权利要求1所述的有金属反射镜的多结太阳能电池，其特征在于，所述的阻挡层为Pt、Ti、Ni或W金属层；厚度为100-500埃。

6.权利要求1～5任一项所述的有金属反射镜的多结太阳能电池的制备方法，包括步骤如下：

(1)采用金属有机化学气相沉积法生长多结太阳能电池外延片，按现有技术在第一衬底上依次生长缓冲层、腐蚀阻挡层、第一帽子层、顶电池、中电池、底电池、第二帽子层，顶电池、中电池和底电池各以隧穿结连接；

(2)在第二帽子层上蒸镀欧姆接触金属层；

(3)光刻在步骤(2)的欧姆接触金属层，制作光刻电流通道图形，腐蚀出电流通道图形后，用湿法腐蚀去除电流通道图形以外的第二帽子层；

(4)在光刻后欧姆接触金属层上蒸镀透明介质层，覆盖欧姆接触金属层；

(5)在步骤(4)的透明介质层上，蒸镀反射镜，反射镜采用金属材料Au、Ag或Al；

(6)在反射镜层上蒸镀阻挡层金属，然后蒸镀键合金属层；

(7)将步骤(6)得到的外延片，键合到蒸镀有键合层金属且已合金的第二衬底上，形成倒装结构；

(8)采用湿法腐蚀法腐蚀去除第一衬底和缓冲层，同时采用湿法腐蚀去掉腐蚀阻挡层；

(9)在步骤(8)中腐蚀出的新界面上蒸镀金属，光刻形成电极图形，同时采用湿法腐蚀方法去除第一帽子层；

(10)对步骤(9)中光刻完毕的电极图形进行合金；

(11)在去除第一帽子层后的新界面上蒸镀减反射膜；

(12)光刻腐蚀去除电极上的减反射膜，光刻出电极；

(13)蒸镀第二衬底背面金属，进行合金；

(14)按现有技术切割、封装，制作太阳能电池。

7.如权利要求6所述的有金属反射镜的多结太阳能电池的制备方法，其特征在于步骤(2)中的欧姆接触金属层为GeAu或者NiAu。

8.如权利要求6所述的有金属反射镜的多结太阳能电池的制备方法，其特征在于步骤(5)中的反射镜为Ag，步骤(6)中金属电极材料为GeAu。

9.如权利要求6所述的有金属反射镜的多结太阳能电池的制备方法，其特征在于步骤(11)中反射膜采用SiO₂和TiO₂交替排列，厚度400-1000埃。

10.如权利要求6所述的有金属反射镜的多结太阳能电池的制备方法，其特征在于步骤(7)中第二衬底为硅；步骤(13)第二衬底蒸镀的背面金属为TiAu，厚度为3000-5000埃。