[发明专利]具有全方位反射镜的发光二极管及其制作方法

权利要求书

1.具有全方位反射镜的氮化镓基发光二极管，包括：

蓝宝石衬底； 

氮化镓基外延叠层，形成于该蓝宝石衬底的一第一表面，该氮化镓基外延叠层包含N型氮化镓基外延层、P型氮化镓基外延层以及发光层介于前述两者之间；

全方位反射镜形成于相对于所述第一表面的所述蓝宝石衬底的一第二表面，并且自该第二表面起，该背镀全方位反射镜依次包含折射率呈高低周期性交替变化的复数层透光介电层堆、氧化镓层和银反射层。

2.根据权利要求1所述的具有全方位反射镜的氮化镓基发光二极管，其还包括镓银氧化界面层形成于所述氧化镓层和银反射层之间。

3.具有全方位反射镜的氮化镓基发光二极管的制作方法，包括步骤：

提供蓝宝石衬底；

在该蓝宝石衬底的第一表面外延生长氮化镓基外延叠层，该氮化镓基外延叠层包含N型氮化镓基外延层、P型氮化镓基外延层以及发光层介于前述两者之间；

在该蓝宝石衬底的第二表面制作背镀全方位反射镜，从第二表面起，该背镀全方位反射镜依次包含折射率呈高低周期性交替变化的复数层透光介电层堆、氧化镓层和银反射层；

退火以使得银与氧化镓层二者界面相互扩散并形成合金。

4.根据权利要求3所述的具有全方位反射镜的氮化镓基发光二极管的制作方法，其退火的氛围包含氮气和氧气。

5.根据权利要求3所述的具有全方位反射镜的氮化镓基发光二极管的制作方法，其退火的温度介于300℃~800℃之间。