[发明专利]提高静电保护器件维持电压的方法有效
申请号: | 201210048205.8 | 申请日: | 2012-02-28 |
公开(公告)号: | CN102569294A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 姜一波;杜寰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L21/822 |
代理公司: | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人: | 刘丽君 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 提高 静电 保护 器件 维持 电压 方法 | ||
1.一种提高静电保护器件维持电压的方法,其特征在于,包括:
首先在半导体基底上制成具有寄生PNPN、PNPNP或NPNPN结构的可控硅器件;
然后在可控硅器件寄生晶体管反馈路径中嵌入半导体元件,用于抑制可控硅自身的正反馈,提升可控硅作为静电保护器件时的维持电压。
2.如权利要求1所述的提高静电保护器件维持电压的方法,其特征在于,所述半导体基底包括:
体硅或III-V族化合物半导体基底。
3.如权利要求1所述的提高静电保护器件维持电压的方法,其特征在于,所述III-V族化合物的半导体基底包括:
GaN或GaAs的半导体基底。
4.如权利要求1所述的高维持电压可控硅器件,其特征在于,所述具有寄生PNPN、PNPNP或NPNPN结构的可控硅器件包括:
两个或两个以上的寄生晶体管形成正反馈。
5.如权利要求1所述的提高静电保护器件维持电压的方法,其特征在于,所述可控硅器件寄生晶体管反馈路径包括:
两个或两个以上的寄生晶体管形成的相互间的正反馈路径。
6.如权利要求1所述的提高静电保护器件维持电压的方法,其特征在于:
所述半导体元件是具有电流或者电压负反馈效用的半导体元件,包括二极管、晶体管或MOS管,用于抑制抑制可控硅自身的正反馈。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的