[发明专利]MEMS建模系统及方法

权利要求书

1.一种对微机电器件进行建模的方法，所述方法包括：

将MEMS设计分成多个区域，所述多个区域中的至少一个区域与所述多个区域中的另一区域位于相互独立的虚拟层中；

为所述多个区域中的每个区域建立模型；以及

将所述多个区域中的每个区域的模型加入到MEMS模型中。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，为所述多个区域中的每个区域建立模型的步骤进一步包括：为所述多个区域中的每个区域建立参数化模型。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述多个区域中的每个区域的所述参数化模型包括参数方程。

4.根据权利要求1所述的方法，在将所述多个区域中的每个区域的模型加入到MEMS模型中的步骤之后进一步包括：校准所述MEMS模型。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，通过硅相关性法至少部分地实施校准所述MEMS模型的步骤。

6.根据权利要求4所述的方法，其中，通过三维分析法至少部分地实施校准所述MEMS模型的步骤。

7.根据权利要求4所述的方法，其中，校准所述MEMS模型的步骤进一步包括：

测试所述MEMS模型，以确定所述MEMS模型是否不符合一系列规格；以及

当所述MEMS模型不符合所述一系列规格时，调整所述多个区域中的每个区域的模型中的一个。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，调整所述多个区域中的每个区域的模型中的一个的步骤进一步包括：调整所述多个区域中的每个区域的模型中的一个的至少一个参数化参数。

9.一种对微机电器件进行建模的方法，所述方法包括：

将三维MEMS设计分成第一区域和第二区域，所述第一区域与所述第二区域位于相互独立的层中；

为所述第一区域建立第一模型，为所述第二区域建立第二模型，所述第一模型与所述第二模型不同；以及

将所述第一模型和所述第二模型结合到MEMS器件模型中。

10.一种对微机电器件进行建模的计算机程序产品，所述计算机程序产品具有非暂时性计算机可读介质，在所述非暂时性计算机可读介质上包含有计算机程序，所述计算机程序包括：

用于接收第一模型和第二模型的计算机程序代码，所述第一模型包括微机电器件的第一区域的第一区域模型，所述第二模型包括所述微机电器件的第二区域的第二区域模型；以及

用于根据所述第一模型和所述第二模型获得MEMS模型的计算机程序代码。