[发明专利]用于金属有机气相沉积设备的进气喷头

权利要求书

1.一种用于金属有机气相沉积设备的进气喷头，包括：

多个进气管路；

一上层板，该上层板为圆盘状；

一外壳体，该外壳体为圆筒状，位于上层板的下面；

一下层板，该下层板为圆盘状，位于外壳体的下面；

气体分配管路，位于下层板上面、外壳体内部，多个进气管路穿过上层板与气体分配管路相连通。

2.如权利要求1所述的用于金属有机气相沉积设备的进气喷头，其中气体分配管路分为有机源气体分配管路和氢化物气体分配管路。

该有机源气体分配管路包括：有机源进气管路，有机源圆形分配总管路，与有机源进气管路形成连通，多个有机源径向分配支管路，与有机源圆形分配总管路形成向外的放射状连通；

该氢化物分配管路包括：氢化物进气管路，氢化物圆形分配总管路，与氢化物进气管路形成连通，氢化物径向分配支管路，与氢化物圆形分配总管路形成向内的放射状连通；

该有机源圆形分配总管路和氢化物圆形分配总管路构成环状结构，有机源径向分配支管路和氢化物径向分配支管路在径向上成叉指状交互排列。

3.如权利要求1所述的用于金属有机气相沉积设备的进气喷头，其中下层板具有多个径向凹槽或板条，气体分配管路的径向分配支管路平铺于下层板多个凹槽或板条表面，下层板的凹槽或板条表面与气体分配支管路下表面融为一体。

4.如权利要求1或3所述的用于金属有机气相沉积设备的进气喷头，其中下层板的凹槽或板条有多个中心径向狭缝或沿径向排布的小孔，所述的狭缝或小孔与气体分配管路的支管路的中心线分布相对应，并贯通气体分配管路的支管路的管壁，气体从气体分配支管路经过所述下层板的狭缝或小孔进入到金属有机气相沉积设备反应室内。

5.如权利要求2所述的用于金属有机气相沉积设备的进气喷头，其中该以环状叉指结构排列的气体分配管路的数量为一个或一个以上。