[发明专利]图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺

权利要求书

1.一种图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，包括以下步骤：

    A倒角：将蓝宝石衬底片边缘修整成圆弧状；

B用规格为W14~W20的碳化硼对蓝宝石衬底片进行双面粗研磨；

C用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗；

D用规格为W5~W7的碳化硼对蓝宝石衬底片进行双面细研磨；

E用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，并将蓝宝石衬底片烘干；

F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：

F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；

F2第一次升温：电加热炉升温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；

F3第二次升温：电加热炉升温至700℃~900℃，恒温10~60分钟；

F4第三次升温：电加热炉升温至1200℃~1550℃，恒温60~240分钟；

F5第一次降温：电加热炉降温至700℃~900℃，恒温10~60分钟；

F6第二次降温：电加热炉降温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；

F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；

G对蓝宝石衬底片正面进行单面研磨；

H用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗；

I对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光；

J对蓝宝石衬底片正面进行单面精抛光；

K用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗。

2.根据权利要求1所述的图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，其特征在于所述步骤G包括：

G1在双面研抛机的下磨盘表面粘贴一片相同大小、规格为W180的碳化硅片；

G2在双面研抛机的下磨盘上安装相互啮合的内齿圈、外齿太阳轮和一块以上开有一个以上通孔的带有外齿的游星盘，将蓝宝石衬底片放在通孔中；

G3在所述游星盘上设置压块，所述压块向游星盘中的蓝宝石衬底片施加压力值为50~250g/cm²，所述压块与游星盘之间还包括一个以上的缓冲垫，所述缓冲垫与所述压块之间还包括固定层；

G4启动双面研抛机，上磨盘始终保持与下磨盘不接触的状态，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W3.5~W5的碳化硼。

3.根据权利要求1或2所述的图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，其特征在于所述步骤I包括：

I1在双面研抛机的下磨盘表面粘贴厚度为0.5~1毫米的聚氨酯抛光皮，抛光皮的直径与磨盘的相同；

I2在双面研抛机的下磨盘上安装相互啮合的内齿圈、外齿太阳轮和一块以上开有一个以上通孔的带有外齿的游星盘，将蓝宝石衬底片放在通孔中；

I3在所述游星盘上设置压块，所述压块向游星盘中的蓝宝石衬底片施加的压力值为50~250g/cm²，所述压块与游星盘之间还包括一个以上的缓冲垫，所述缓冲垫与所述压块之间还包括固定层；

I4启动研抛机，上磨盘始终保持与下磨盘不接触的状态，下磨盘转速为12~60 rpm，抛光过程中加二氧化硅抛光液，抛光液温度为22℃~45℃，PH值为10~11.5，流量为120~600ml/min。

4.根据权利要求1所述的图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，其特征在于所述步骤G包括：

G1在双面研抛机的上、下磨盘表面各粘贴一片相同大小、粒度为W180的碳化硅片；

G2在双面研抛机的下磨盘上安装相互啮合的内齿圈、外齿太阳轮和一块以上开有一个以上通孔的带有外齿的游星盘，将蓝宝石衬底片放在通孔中；

G3将两个蓝宝石衬底片的背面用粘合剂对粘在一起，或者将一个以上的蓝宝石衬底片的背面用粘合剂粘贴在载物盘的上表面和/或下表面上，所述粘合剂耐受温度≥80℃；

G4盖上上磨盘，启动双面研抛机，研磨过程中加磨料和冷却水，磨料选用规格为W3.5~W5的碳化硼。