[发明专利]利用电子阻挡层提高发光效率的氮化物发光器件有效
| 申请号: | 201210012497.X | 申请日: | 2012-01-16 |
| 公开(公告)号: | CN102544285A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
| 发明(设计)人: | 杨薇;胡晓东;若比邻;李磊 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
| 主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14 |
| 代理公司: | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人: | 张肖琪 |
| 地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 利用 电子 阻挡 提高 发光 效率 氮化物 器件 | ||
1.一种氮化物发光器件,所述发光器件包括从衬底至上依次叠加的四个部分:多层结构的N型电子注入层(1)、有源层(2)、电子阻挡层(3)、及多层结构的P型空穴注入层(4),其特征在于,所述电子阻挡层(3)非均匀且非周期掺铝Al,Al的组分从下至上变大。
2.如权利要求1所述的发光器件,其特征在于,所述电子阻挡层的厚度在20nm~100nm之间。
3.如权利要求1所述的发光器件,其特征在于,所述电子阻挡层包括单层或多层的铝镓氮AlGaN。
4.如权利要求1所述的发光器件,其特征在于,所述电子阻挡层中Al的组分在0~0.35(原子数)之间。
5.如权利要求1所述的发光器件,其特征在于,所述电子阻挡层中Al的组分是渐变或突变。
6.如权利要求1所述的发光器件,其特征在于,所述电子阻挡层直接生长在有源层之上,或者代替有源层中最后一个量子垒开始生长。
7.如权利要求1所述的发光器件,其特征在于,所述电子阻挡层中掺杂为Mg、Zn及C等杂质中的一种或多种组合。
8.如权利要求1所述的发光器件,其特征在于,所述氮化物发光器件包括氮化物激光器、氮化物发光二极管和超辐射二极管。
9.如权利要求1所述的发光器件,其特征在于,所述多层结构的N型电子注入层(1)包括N型接触层、N型包覆层和N型波导层;所述有源层(2)包括量子阱和量子垒;所述多层结构的P型空穴注入层(4)包括P型波导层、P型包覆层和P型接触层。
10.如权利要求9所述的发光器件,其特征在于,所述接触层、包覆层和波导层分别是AlN、InN和GaN等二元系氮化物,AlGaN、InAlN和InGaN等三元系氮化物,以及AlInGaN等四元系氮化物中的一种。
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