[发明专利]硅片切削液中的碳化硅、硅微粉和聚乙二醇的回收方法

权利要求书

1.一种硅片切削液中的碳化硅、硅微粉和聚乙二醇的回收方法，其特征在于，包括如下步骤：

A、将切削液搅拌均匀，经过目数为10-100目的筛网过滤后，再经离心机分离出固体组分和液体组分；

B、固体组分中加入水搅拌均匀形成固液混合物，水∶固体组成＝1-5∶1(以质量份计算)；通过压滤机将固定混合物中的固体和液体分离，使固体的含水量达到3-5％；

C、将步骤B过滤得到的固体进行分离得到碳化硅料及硅料液；

D、提取硅微粉，将步骤C中收集得到的硅料液进行沉淀得到硅料，再对硅料进行酸洗、过滤，将过滤后的固体物质进行烘干，得到硅微粉；

E、提取碳化硅：

E1、将步骤C中得到的碳化硅料进入水力漩流器，进行固液分离，将固体部分进入真空带式过滤机进行过滤和漂洗，漂洗后的固体部分进行碱洗、酸洗、精制提纯得到碳化硅半成品；

E2、将碳化硅半成品进行脱水，得到含水量为5-20％(按质量百分比)的碳化硅滤体，进一步烘干，使碳化硅含水量小于0.1％，筛除大颗粒物质后，到碳化硅后成品；

F、提取聚乙二醇，

F1、将步骤A液体组分离，得到固体和液体，液体中加入0.1-2％脱色剂和0.1-0.5％助滤剂，在40-80度下连续搅拌，搅拌时间为0.2-2小时，搅拌速度为60-120转/min；

F2、将经步骤F1得到的液体进行过滤；

F3、将经步骤F2过滤后的液体进入离子交换系统，进料温度控制在0-40度；

F4、将经离子交换后的液体过滤后进行蒸馏，得含水量小于0.5％的聚乙二醇蒸馏体；

F5、将聚乙二醇蒸馏体冷却，形成聚乙二醇产品。

2.如权利要求1所述的硅片切削液中的碳化硅、硅微粉和聚乙二醇的回收方法，其特征在于，所述步骤C中通过沉淀的方法分离得到碳化硅料及硅料液，沉淀包括如下步骤：

C1、将步骤B过滤得到的固体与水搅拌均匀，水∶固体＝2-10∶1按质量份计；常温状态下，静置1-4小时，重质沉淀的为碳化硅料，轻质悬浮的为硅料液，分别收集；

C2、对碳化硅料进行重复清洗2-5次，并收集每次清洗得到的硅料液和碳化硅料。

3.如权利要求1或2所述的硅片切削液中的碳化硅、硅微粉和聚乙二醇的回收方法，其特征在于，所述步骤D包括如下步骤：

D1、对硅料液进行预处理，使硅料液中的液相∶固相＝1-3∶1(按质量计)；

D2、在预处理的硅料液中加入盐酸，并搅拌0.5-2小时，形成硅溶液，硅溶液中盐酸浓度为1-10％(按质量百分比浓度计)；

D3、酸洗后过滤并清洗得到的硅微粉滤体，将硅微粉滤体在100-150度烘干，烘干时连续出料，出料速度为1.5hr。

4.如权利要求3所述硅片切削液中的碳化硅、硅微粉和聚乙二醇的回收方法，其特征在于，对硅料液进行预处理是指通过静置步骤C的硅料液，当硅料液的上层水溶液清澈后排出上层清液，保留剩余水量为沉淀固体量的1-3倍，常温下静置4-12小时。

5.如权利要求1所述的硅片切削液中的碳化硅、硅微粉和聚乙二醇的回收方法，其特征在于，所述步骤E1中碱洗时采用质量百分比浓度为1-10％的碱溶液进行连续搅拌清洗，搅拌时间为0.5-4小时，搅拌速度为60-120r/min；酸洗时采用质量百分比浓度为1-10％的酸溶液进行连续搅拌清洗，搅拌时间为0.5-4小时，搅拌速度为60-120r/min。

6.如权利要求1所述的硅片切削液中的碳化硅、硅微粉和聚乙二醇的回收方法，其特征在于，所述步骤F5中冷却采用急冷技术进行冷却，即在1-5分钟内，从40-130度冷却至40度。