[发明专利]用镍铁合金制备的蒸镀用金属掩模板

说明书

 

技术领域

本发明属于半导体元件技术领域，涉及一种金属掩模板，尤其涉及一种用镍铁合金制备的蒸镀用金属掩模板。

 

背景技术

因瓦合金的发现，引起了世界各国科学家的重视和研究，使得因瓦合金无论是从种类还是从性能和应用上都得到了极大的提高。如1927年日本增本量首先研制出Fe—Ni—Co和Fe—Ni—Cr因瓦合金，1937年德国A..Kussmann研制出Fe—Pt和Fe—Pd因瓦合金等；我国在五、六十年代也研制出4J32和4J36因瓦合金；经过将70年的发展，直到20世纪70年代，美国Inco公司研制出Incoloy903合金，才使低膨胀合金进入了高温用途领域，到80年代末期，才形成了现代低膨胀超合金系列。作为低膨胀合金都要求组织稳定性，一般要求在-60℃～-70℃下不发生马氏体相变。因为一发生这种相变，合金的膨胀系数会发生突变，导致应用出现故障，这是不允许的。可贵的是，FeNi36因瓦合金和FeNi32Co4超因瓦合金，在-273℃下也能保持组织稳定性，因而至今广泛应用的只有因瓦合金和超因瓦合金，近几年来在改进它们的质量，扩大使用范围，科学家们做了大量的研究工作，经过100多年的发展，因瓦合金仍然是被广泛应用的经久不衰的优质材料。

在因瓦合金问世的一百多年以来，取其低膨胀系数低这一特征的应用领域迅速扩大。随着因瓦合金不断应用于人造卫星、激光、环形激光陀螺仪和其他先进的高科技产品，有力地表明这些古老的材料正在帮助现代科学向更高水平迈进。

当含有32%～36%的镍合金具有很低的线膨胀系数，一般平均膨胀系数为a=1.5×10^-6℃-¹，当含Ni量达到36%时，即因瓦合金镍含量，热膨胀系数最低，达到a=1.8×10^-6℃^-1，从而可获得低到接近零值甚至负值的热膨胀系数。且在室温-80℃～+100℃时均不发生变化。绝大多数的金属和合金都是在受热时体积膨胀，冷却时体积收缩，但因瓦合金由于它的铁磁性，在一定的温度范围内，具有因瓦效应的反常热膨胀，其膨胀系数极低，有时甚至为零或负值。正因为因瓦合金具有低热膨胀系数，其在OLED制造领域中广泛应用，是蒸镀用掩模板的首选材料之一。 但同时因瓦合金都是采用熔炼的方法获得的，耗能高，技术要求高，因而价格也是相当高，单块价格高达1000元以上。

有鉴于此，有必要设计一种制作成本更低，开口精度更高的蒸镀用掩模板。

 

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种用镍铁合金制备的蒸镀用金属掩模板，板面光亮度较高，板面质量好，并且较因瓦合金制作的掩模板成本低，节约成本。

根据本发明实施例的一种用镍铁合金制备的蒸镀用金属掩模板，所述金属掩模板为采用电铸工艺制作的镍铁合金材料的掩模板；所述镍铁合金材料包括镍和铁两种元素，其铁元素的含量为40%～55%，镍元素的含量为45%～60%。

优选地，金属掩模板的厚度在30～100μm的范围内。

优选地，所述金属掩模板具有开口图形区域。

优选地，所述镍铁合金掩模板包括镍铁合金镀层，镍铁合金镀层的均匀性COV在5%～10%。所述镍铁合金镀层表面光亮度为2级光亮。

优选地，所述镍铁合金镀层的制备方法为：采用电铸方法，以硫酸盐体系作为电铸液，金属阴阳极置于电铸液中，并在阴极沉积镍铁合金；所述电铸液具体包括：180～200g /L的硫酸镍、30～50g/L的氯化镍、40～50 g/L的硼酸、14～17g /L的硫酸亚铁。

进一步地，所述电铸液包括如下添加剂：0.5～1ml/L的稳定剂、0.5～1ml/L的润湿剂、1～5ml/L的走位剂。

进一步地，所述制备方法的具体电铸工艺参数如下：pH值为3.4～3.8；温度为40～45℃；阴极电流密度值为1～3A/dm²。