[发明专利]用镍铁合金制备的蒸镀用金属掩模板

权利要求书

1.一种用镍铁合金制备的蒸镀用金属掩模板，其特征在于，所述金属掩模板为采用电铸工艺制作的镍铁合金材料的掩模板；所述镍铁合金材料包括镍和铁两种元素，其铁元素的含量为40%～55%。

2.根据权利要求1所述的金属掩模板，其特征在于，镍元素的含量为45%～60%。

3.根据权利要求1所述的金属掩模板，其特征在于，金属掩模板的厚度在30～100μm的范围内。

4.根据权利要求1所述的金属掩模板，其特征在于，所述金属掩模板具有开口图形区域。

5.根据权利要求1所述的金属掩模板，其特征在于，所述镍铁合金掩模板包括镍铁合金镀层，镍铁合金镀层的均匀性COV在5%～10%。

6.根据权利要求5所述的金属掩模板，其特征在于，所述镍铁合金镀层表面光亮度为2级光亮。

7.根据权利要求1所述的金属掩模板，其特征在于，所述镍铁合金镀层的制备方法为：采用电铸方法，以硫酸盐体系作为电铸液，金属阴阳极置于电铸液中，并在阴极沉积镍铁合金；

所述电铸液具体包括：180～200g/L的硫酸镍、30～50g/L的氯化镍、40～50g/L的硼酸、14～17g/L的硫酸亚铁。

8.根据权利要求7所述的金属掩模板，其特征在于，所述电铸液包括如下添加剂：0.5～1ml/L的稳定剂、0.5～1ml/L的润湿剂、1～5ml/L的走位剂。

9.根据权利要求7所述的金属掩模板，其特征在于，所述制备方法的具体电铸工艺参数如下：pH值为3.4～3.8；温度为40～45℃；阴极电流密度值为1～3A/dm²。

10.根据权利要求7所述的金属掩模板，其特征在于，所述制备方法具体包括如下步骤：

按照所述电铸液配方配制好所需的电铸镍铁溶液，将之循环搅拌均匀，加热到所需的温度；

选取镜面光亮、表面无划痕的1.8mm或2.0mm厚的芯模，进行前处理工艺，包括化学除油、酸洗、喷砂、超声浸洗；

电铸前，先进行活化处理，增加镀层与芯模间的结合力，控制好活化时间，使之既不容易脱落，也易剥离；

电铸时，辅助条件包括能改善镀层均匀性的阳极挡板，用来减少针孔的震动和搅拌，减轻镀层边缘效应的循环时间和循环间隔时间以及流量的组合；

调整好添加剂的比例和含量，使之表面质量良好；

控制好电铸参数，包括温度、pH、电流密度、Fe²⁺/Ni²⁺的浓度比等，是电铸出来的材料镀层的铁含量达到上述要求。

11.根据权利要求7所述的金属掩模板，其特征在于，所述制备方法具体如下：

芯模前处理→贴膜→曝光→显影→电铸镍铁合金镀层→脱膜→剥离→镀层后处理。