[发明专利]预对准装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种预对准装置，特别是指一种具有夹持结构的预对准装置。

背景技术

随着科技的发展，工业生产规模越来越大，因此人力成本会增加，且效率要求也越来越高，渐渐的在工厂中大量引入自动化或半自动化工具，如使用机器人等工具组装产品。在晶圆的组装过程中，难免要对对晶圆夹持，而现有的边缘夹持式预对准机大多为卡爪式，常见的有二爪式、三爪式及四爪式。用来检测物体缺口的传感器多为透射式传感器(例如LED透光式传感器)。当卡爪夹持物体时，任何一个爪的爪臂都有可能遮挡住物体缺口。这样，当物体缺口旋转至传感器发射的光线位置时，会因为卡爪爪臂的遮挡而无法被识别。现有专利大多提到了避免卡爪末端接触单元遮挡物体缺口的方法，采取的解决办法大多是先使物体旋转一周，看传感器信号有无变化或信号变化是否符合要求来判断物体缺口是否被卡爪爪臂遮挡，若被遮挡，则放下物体，待卡爪旋转一定角度后再重新夹持物体继续检测。另外，当物体被从卡爪放到撑托上时，若卡爪与撑托处于同一位置，则两者会发生干涉，必需先使卡爪旋转一定角度避开干涉再将物体放置在撑托上，之后卡爪再旋转一定角度(在此位置上或在此基础上旋转至一预定位置后卡爪不会与撑托发生干涉)并再次夹持物体并上升使物体高出撑托所在平面，旋转物体使其缺口朝向一预定位置，然后卡爪再次将物体放置在撑托上，并由机械手取走。同时，若卡爪的爪臂处于机械手前进方向，则两者也会发生干涉。这样会使控制程序十分复杂，并降低了预对准的效率。

发明内容

鉴于以上内容，有必要提供一种结构简单并能防止物体的缺口被遮挡的预对准装置。

一种预对准装置，所述预对准装置包括一用以夹持物体的夹持结构所述夹持结构包括夹持件及转动件，所述夹持件及转动件之间连接一第一驱动器，所述物体夹持在所述夹持件及转动件之间；所述转动件连接一第二驱动器，所述第二驱动器驱使所述转动件绕一第一中心轴转动，所述转动件驱使所述物体绕一第二中心轴转动，所述第一中心轴平行所述第二中心轴；所述第一驱动器驱使所述夹持件及转动件沿相互靠近或远离的方向移动，所述夹持件及所述转动件沿相互靠近或远离时驱使所述物体沿平行所述第二中心轴方向移动。

在一实施方式中，所述夹持件包括一支撑台及一滑动部，且设有一卡槽，所述滑动部自所述支撑台延伸并连接所述卡槽。

在一实施方式中，所述滑动部具有一锥形的外表面，且直径自所述支撑台到所述卡槽逐渐增大。

在一实施方式中，所述物体在所述夹持件及转动件沿相互靠近的方向移动的过程中，自所述支撑台沿所述滑动部移动，并卡在所述卡槽中；所述物体在所述夹持件及转动件沿相互远离的方向移动的过程中，脱离所述卡槽并沿所述滑动部移动至所述支撑台。

在一实施方式中，所述夹持件及转动件之间留有供一机械手伸入的空隙。

在一实施方式中，所述卡槽绕所述夹持件一周，且所述物体在转动的过程中夹持在所述卡槽中。

在一实施方式中，所述转动件的转动方向与所述物体的转动方向相反。

在一实施方式中，所述第一中心轴及所述第二中心轴垂直所述支撑台。

在一实施方式中，所述转动件及夹持件对称分布在所述物体的两侧。

在一实施方式中，所述物体为晶圆，且设有缺口，所述预对准装置还包括有装设在所述物体下方的传感器，所述传感器能够在所述物体转动的过程中识别出所述缺口的位置。

与现有技术相比，上述预对准装置中的夹持结构及具有该夹持结构的两组夹持件及转动件在相互靠近或远离的方向移动的过程中就能驱使物体上下移动，不需要重新夹持物体。同时，减少了用以驱使夹持结构升降的驱动结构。另外，所述两组夹持件及转动件在转动的同时通过摩擦带动物体转动，但不随物体同轴转动，避免了夹持件及转动件对传感器发射的光线产生遮挡；且由于所述转动件及夹持件对称分布在所述物体的两侧，机械手从所述转动件及夹持件空隙处取送物体，可避免机械手与所述夹持结构发生干涉。

附图说明

图1是本发明预对准装置与一机械手的俯视图。

图2是本发明夹持结构的一沿中心轴方向的剖视图。

主要元件符号说明