[发明专利]预对准装置

权利要求书

1.一种预对准装置，所述预对准装置包括一用以夹持物体的夹持结构，其特征在于：所述夹持结构包括夹持件及转动件，所述夹持件及转动件之间连接一第一驱动器，所述物体夹持在所述夹持件及转动件之间；所述转动件连接一第二驱动器，所述第二驱动器驱使所述转动件绕一第一中心轴转动，所述转动件驱使所述物体绕一第二中心轴转动，所述第一中心轴平行所述第二中心轴；所述第一驱动器驱使所述夹持件及转动件沿相互靠近或远离的方向移动，所述夹持件及所述转动件沿相互靠近或远离时驱使所述物体沿平行所述第二中心轴方向移动。

2.如权利要求1所述的预对准装置，其特征在于：所述夹持件包括一支撑台及一滑动部，且设有一卡槽，所述滑动部自所述支撑台延伸并连接所述卡槽。

3.如权利要求2所述的预对准装置，其特征在于：所述滑动部具有一锥形的外表面，且直径自所述支撑台到所述卡槽逐渐增大。

4.如权利要求2所述的预对准装置，其特征在于：所述物体在所述夹持件及转动件沿相互靠近的方向移动的过程中，自所述支撑台沿所述滑动部移动，并卡在所述卡槽中；所述物体在所述夹持件及转动件沿相互远离的方向移动的过程中，脱离所述卡槽并沿所述滑动部移动至所述支撑台。

5.如权利要求2所述的预对准装置，其特征在于：所述夹持件及转动件之间留有供一机械手伸入的空隙。

6.如权利要求2所述的预对准装置，其特征在于：所述卡槽绕所述夹持件一周，且所述物体在转动的过程中夹持在所述卡槽中。

7.如权利要求1所述的预对准装置，其特征在于：所述转动件的转动方向与所述物体的转动方向相反。

8.如权利要求1所述的预对准装置，其特征在于：所述第一中心轴及所述第二中心轴垂直所述支撑台。

9.如权利要求1所述的预对准装置，其特征在于：所述转动件及夹持件对称分布在所述物体的两侧。

10.如权利要求1所述的预对准装置，其特征在于：所述物体为晶圆，且设有缺口；所述预对准装置还包括一传感器，所述传感器装设在所述物体下方，所述传感器能够在所述物体转动的过程中识别出所述缺口的位置。