[发明专利]移动的、可运输的静电衬底保持设备

权利要求书

1. 用于薄的片状工件以及在高温下使用的移动的、可运输的静电衬底保持设备（1；11），该静电衬底保持设备具有衬底保持器（2；20；30；40；50）以及用于衬底保持器（2；20；30；40；50）的载体（3），所述衬底保持器包括至少一个包括电极对（31.1,31.2,32.1,32.2,33.1,33.2,34.1,34.2；41.1,41.2,42.1,42.2,43.1,43.2,44.1,44.2）的保持装置（31,32,33,34；41,42,43,44），其中衬底保持器（2；20；30；40；50）经由至少一个侧边缘（2a，2b，2c，2d）至少最大程度热去耦地与所述载体（3）机械连接。

2. 根据上述权利要求之一的衬底保持设备，其中衬底保持器（2，20，30，40；50）通过一个或多个、具有热绝缘材料的接片（4，5）与载体（3）连接。

3. 根据上述权利要求之一的衬底保持设备，其中载体（3）具有自己的储能装置，该储能装置具有电荷存储器，并且载体（3）能够与至少一个保持装置（31,32,33,34；41,42,43,44）电连接。

4. 根据权利要求3的衬底保持设备，其特征在于，载体（3）具有电路，以便转换在至少一个保持装置（31-34,41-44）处的电压和/或进行受控的接通和关断。

5. 根据权利要求3或4的衬底保持设备，其特征在于，保持装置（31,32,33,34；41,42,43,44）和载体（3）之间的电连接至少局部地被热绝缘材料包围。

6. 根据权利要求3至5之一的衬底保持设备，其特征在于，电荷存储器或与其连接的电路被构造为用于对至少一个保持装置（31,32,33,34；41,42,43,44）的电极（31.1,31.2,32.1,32.2,33.1,33.2,34.1,34.2；41.1,41.2,42.1,42.2,43.1,43.2,44.1,44.2）进行非对称的电势供应。

7. 根据上述权利要求之一的衬底保持设备，其特征在于，载体（3）构造为框形。

8. 根据上述权利要求之一的衬底保持设备，其特征在于，载体（3）构成为插座。

9. 根据上述权利要求之一的衬底保持设备，其特征在于，载体（3）具有电接触部位和/或用于电感式能量传输的装置。

10. 根据上述权利要求之一的衬底保持设备，其特征在于，衬底保持器（2，20，30，40；50）具有多个保持装置（31,32,33,34；41,42,43,44）。

11. 根据权利要求10的衬底保持设备，其特征在于，多个保持装置（31,32,33,34）并行地连接到同一个电荷存储器，或者每个保持装置（41,42,43,44）连接到自己的电荷存储器。

12. 根据上述权利要求之一的衬底保持设备，其特征在于，一个或多个保持装置（31,32,33,34；41,42,43,44）的电极的连接端在衬底保持器（2，20，30，40；50）的正面上向外引出，或者通过孔洞或者围绕衬底保持器（2，20，30，40；50）的棱边引出到衬底保持器（2，20，30，40；50）的背面上。

13. 根据上述权利要求之一的衬底保持设备，其特征在于，多个保持装置（31,32,33,34；41,42,43,44）在衬底保持器（2；20；30；40；50）内或在衬底保持器（2；20；30；40；50）上相互连接。

14. 根据上述权利要求之一的衬底保持设备，其中至少一个保持装置（31,32,33,34；41,42,43,44）平放地布置在衬底保持器（2；20；30；40；50）的平坦的平面中，其中衬底保持器的平坦的平面在侧面由至少一个侧边缘（2a，2b，2c，2d）限制。

15. 根据上述权利要求之一的衬底保持设备，其中衬底保持器（50）在正面（12）上以及在背离正面的背面（13）上分别具有至少一个保持装置（31,32,33,34；41,42,43,44）。