[发明专利]光学特性测量装置及方法

权利要求书

1.一种光学特性测量装置，其特征在于，包括：

投光机构，对测量对象照射特定的偏光照明；

摄像机构，将波长板在第1方向上对齐而排列，在上述第1方向上实现至少4种偏光特性，且包括影像感测器，该影像感测器被划分为对通过上述波长板的光个别地进行摄像的摄像区；以及

扫描机构，使上述摄像机构相对于上述测量对象而相对地在上述第1方向上移动；且

伴随着藉由上述扫描机构而进行的上述摄像机构的相对移动，将对上述测量对象的各测量像素在各摄像区中进行多次摄像所获得的输出值针对每个测量像素进行相加，而算出该摄像区的测量值，并根据自各摄像区收集的测量值来算出每个测量像素的光的司托克士参数。

2.根据权利要求1所述的光学特性测量装置，其特征在于，上述影像感测器利用包含多个像素的摄像元件来进行摄像，且在摄像时，针对每个将邻接的多个像素加以结合而成的结合单元而输出一个输出值。

3.根据权利要求1或2所述的光学特性测量装置，其特征在于，在测量的前以上述结合单元为单位而求出偏光传递矩阵，该偏光传递矩阵表示自上述测量对象发出的光与自上述影像感测器的各摄像区输出的输出值的关系，使用上述偏光传递矩阵与自上述各摄像区输出的输出值来求出上述测量对象的司托克士参数。

4.根据权利要求2或3所述的光学特性测量装置，其特征在于，上述影像感测器跨及邻接的2个结合单元而对规定的测量像素进行摄像。

5.根据权利要求4所述的光学特性测量装置，其特征在于，上述规定的测量像素的输出值包含：将一结合单元中对规定的测量像素进行摄像后的像素所占的比例与该像素的输出平均值相乘而得的值，及另一结合单元中对规定的测量像素进行摄像后的像素所占的比例与该像素的输出平均值相乘所得的值。

6.根据权利要求1或2所述的光学特性测量装置，其特征在于，上述移动机构使上述测量对象或上述摄像机构中的至少其中一个在第1方向上移动，并且每当藉由上述摄像机构进行的上述测量对象的上述第1方向的摄像结束时，使上述测量对象或上述摄像机构中的至少其中一个在与上述第1方向为直角且与上述测量对象平行的第2方向上移动。

7.根据权利要求6所述的光学特性测量装置，其特征在于，于上述移动机构使上述测量对象或上述摄像机构中的至少其中一个在与上述第1方向为直角且与上述测量对象平行的上述第2方向上移动的情况下，维持着上述摄像机构与上述投光机构的上述第2方向上的位置关系而使其移动，且将上述投光机构的偏光照射范围缩小至上述摄像机构的可照射上述第2方向的视野范围的程度。

8.根据权利要求1或2所述的光学特性测量装置，其特征在于，藉由上述波长板而实现的偏光的种类的数量为4至40。

9.根据权利要求1或2所述的光学特性测量装置，其特征在于，上述波长板具有与迟相量为70°至170°或190°至290°中任一个波长板相同的迟相效果。

10.一种光学特性测量方法，其特征在于：

使用摄像机构，该摄像机构将波长板在第1方向上对齐而排列，在上述第1方向上实现至少4种偏光特性，且包括影像感测器，该影像感测器被划分为对通过上述波长板的光个别地进行摄像的摄像区，

使摄像机构相对于测量对象而相对地在上述第1方向上移动，将上述测量对象的各测量像素在各摄像区中进行多次摄像所获得的输出值相加，并针对每个测量像素算出该摄像区的测量值，并且根据自各摄像区同样地收集的测量值而针对每个测量像素算出自上述测量对象发出的光的司托克士参数。