[实用新型]蓝宝石单晶籽晶运动机构定位装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶体生长用的籽晶运动支撑定位装置，属于蓝宝石单晶生长炉领域。

背景技术

蓝宝石是一种简单配位型氧化物晶体。具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性，被广泛的应用于民用航天、半导体衬底、红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料等，同时晶体生长设备-单晶生长炉也随之得到了飞速的发展。

通常蓝宝石晶体生长炉的籽晶运动要求平稳、对中并且垂直上下，旋转时远端圆跳动尽可能小。这就要求支撑定位机构的加工和装配精度比较高，而且设备长时间使用后，应定期调整校正，恢复精度。

而传统机械装置一般仅靠零件的加工精度和装配精度来保证机构的整体定位要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有调整校正功能的蓝宝石单晶籽晶运动机构定位装置。

本实用新型蓝宝石单晶籽晶运动机构定位装置，包括：升降支座；直线导轨副，所述直线导轨副设置在所述升降支座的一侧；旋转支架，所述旋转支架设置在所述升降支座的另外一侧；所述旋转支架通过定位装置与所述升降支座固定。

所述定位装置包括：调整螺栓，所述调整螺栓设置在所述旋转支架的下端；长螺栓，所述长螺栓设置在所述升降支座的下端；平端紧定螺钉，所述平端紧定螺钉设置在所述旋转支架的上端。

所述调整螺栓及所述长螺栓为同轴设置。所述调整螺栓与所述升降支座之间还依次设有球面垫圈和锥面垫圈。

本实用新型蓝宝石单晶籽晶运动机构定位装置通过定位装置实现因调整位置变化，同心偏移后依然可以实现端面紧定效果并同时消除位置调整后产生的间隙。

附图说明

图1为本实用新型蓝宝石单晶籽晶运动机构定位装置结构示意图；

本实用新型蓝宝石单晶籽晶运动机构定位装置附图中附图标记说明：

1-升降支座        2-直线导轨副    3-长螺栓

4-平端紧定螺钉    5-旋转支架      6-球面垫圈

7-锥面垫圈        8-调整螺栓      9-圆螺母

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型蓝宝石单晶籽晶运动机构定位装置作进一步详细说明。

如图1、图2所示，本实用新型蓝宝石单晶籽晶运动机构定位装置的升降支座1与直线导轨副2安装紧固连接。旋转支架5与升降支座1连接时，五处调整定位后紧固锁紧。五处调整分别为：下端两侧通过调整螺栓8与旋转支架5的螺纹配合位置，将直线导轨副2的导轨面调至垂直向下后，锁紧圆螺母9。长螺栓3与升降支座1通过螺纹紧固连接，同时与调整螺栓5同心组装。调整螺栓5与升降支座1之间连有球面垫圈6与锥面垫圈7，实现因调整位置变化，同心偏移后依然可以实现端面紧定效果。之后上方两侧采用辅助定位，定位原理同上。最后通过平端紧定螺钉，将旋转支座1上和旋转支架5的上方，消除位置调整后产生的间隙。

本实用新型蓝宝石单晶籽晶运动机构定位装置通过定位装置实现因调整位置变化，同心偏移后依然可以实现端面紧定效果并同时消除位置调整后产生的间隙。

以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。