[实用新型]一种硅片传送机的取片和定位装置

权利要求书

1.一种硅片传送机的取片和定位装置，其特征在于，所述装置包括基板、控制电路和受控于控制电路的载盘、光电传感器、旋转吸嘴、转盘、翻转吸嘴、曲线定位器，其中：载盘可沿中心线滑动的固定在基板上；光电传感器位于载盘的上方，所述光电传感器的中心轴与载盘的中心线垂直相交；旋转吸嘴可滑动的固定在载盘和转盘的上方；转盘、翻转吸嘴和曲线定位器均固定在基板上，所述翻转吸嘴的两个翻转位置分别与转盘、曲线定位器相对应。

2.如权利要求1所述的硅片传送机的取片和定位装置，其特征在于，所述的载盘可沿中心线滑动的固定在基板上是指载盘与载盘轴可滑动连接，载盘轴与基板固定连接、并与控制电路电连接。

3.如权利要求1所述的硅片传送机的取片和定位装置，其特征在于，所述光电传感器控制电路电连接、并与连接板固定连接，连接板固定在基板上的光电传感器的立柱固定连接。

4.如权利要求1所述的硅片传送机的取片和定位装置，其特征在于，所述的旋转吸嘴通过联轴器与旋转电机连接，所述旋转电机可滑动的固定在旋转电机轴上，所述旋转电机轴位于载盘的上方、并与载盘的中心线垂直，所述旋转电机轴的两端分别与两个固定在基板上的轴立柱固定连接，所述旋转电机、旋转电机轴均与控制电路电连接。

5.如权利要求1所述的硅片传送机的取片和定位装置，其特征在于，所述的转盘通过联轴器与转盘电机连接，所述转盘电机与基板固定连接、并与控制电路电连接。

6.如权利要求1所述的硅片传送机的取片和定位装置，其特征在于，所述的翻转吸嘴通过联轴器与翻转电机连接，所述翻转电机与基板固定连接、并与控制电路电连接。

7.如权利要求1所述的硅片传送机的取片和定位装置，其特征在于，所述的曲线定位器通过联轴器与定位电机连接，所述定位电机与基板固定连接、并与控制电路电连接。

8.如权利要求7所述的硅片传送机的取片和定位装置，其特征在于，所述的曲线定位器包括与定位电机连接的曲线连接件，以及与曲线连接件固定连接的定位爪，在所述定位爪的前端设有直角定位部。

9.如权利要求2-8中任一权利要求所述的硅片传送机的取片和定位装置，其特征在于，所述的固定连接为螺纹接。

10.如权利要求1所述的硅片传送机的取片和定位装置，其特征在于，在所述转盘上设有多个U型槽。