[实用新型]晶粒外观检查机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种检查机，特别是涉及一种晶粒外观检查机。

背景技术

如图1所示，以往在晶圆切割后为了检查晶粒是否不良，作业员需利用一个显微镜1来检查数个粘附于一张胶膜2的晶粒201，以对不良的晶粒201做标记，或利用一个吸笔装置3将不良的晶粒201吸除，虽然，由作业员来判别不良晶粒201的准确性很高，但是，作业员通过该显微镜1来做人工检查的速度很慢，并且可能发生重复检查相同晶粒201的情形，此外，由于人眼容易疲劳，因此，往往也会在检查后发生误标记到良好的晶粒201或误移除良好的晶粒201的问题。

如图2所示，为现有一种可自动判别晶粒外观的晶粒外观检查机，包含一个可沿X轴方向与Y轴方向移动并可绕Z轴方向转动的工作台4、一个取像单元5、一个具有吸嘴601的移除单元6，及一个可控制该工作台4、该取像单元5与该移除单元6的中央处理单元7，当作业员将粘附有所述晶粒201的胶膜2摆置于该工作台4后，该中央处理单元7会先进行晶粒自动对正程序与校正机器原点坐标的程序；接着，该中央处理单元7会控制该取像单元5去扫瞄拍摄所述晶粒201的影像；接着，该中央处理单元7会定位出每一个晶粒201的坐标位置，并通过影像比对软件将所述晶粒201的影像与内建的样本影像进行比对，以自动判别所述晶粒201是否不良；最后，该中央处理单元7会控制该移除单元6将不良的晶粒201移除。

虽然，此种晶粒外观检查机可利用影像比对软件来自动判别所述晶粒201是否不良，然而，在实务上由于软件判别的准确性并无法达到人工检查的100％，因此，最后仍是要如图1所示一般，再由作业员通过该显微镜1对剩下的晶粒201进行复检，并以人工挑除其中的不良晶粒201，此外，这种晶粒外观检查机在检查不同批或不同规格的晶粒时，均需重新进行一次影像比对软件的设定作业或教学程序，相当费时且麻烦。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种判别准确性佳且作业方便的晶粒外观检查机。

本实用新型晶粒外观检查机，适用于检查数个粘附于一张胶膜的晶粒，包含一个机台单元、一个工作台单元、一个取像单元、一个中央处理单元，及一个检视单元。该工作台单元设置于该机台单元，该工作台单元供黏附有所述晶粒的胶膜摆置定位。该取像单元设置于该机台单元，该取像单元拍摄所述晶粒的影像。该中央处理单元与该取像单元电连接，该中央处理单元根据所述晶粒的影像对所述晶粒分别定义出一个坐标位置。该检视单元与该中央处理单元电连接，该检视单元具有一个显示所述晶粒的影像的触控屏幕。

较佳地，所述晶粒外观检查机中，该检视单元还具有一个鼠标。

较佳地，所述晶粒外观检查机中，该晶粒外观检查机还包含一个设置于该机台单元与该工作台单元之间的移动单元，该移动单元具有一个第一移动装置，及一个第二移动装置，该第一移动装置设置于该机台单元，并具有一个沿一个第一方向移动的第一移动部，该第二移动装置设置于该第一移动部，并具有一个沿一个垂直于所述第一方向的第二方向移动的第二移动部，该工作台单元设置于该第二移动部。

较佳地，所述晶粒外观检查机中，该晶粒外观检查机还包含一个与该中央处理单元电连接的移除单元，该移除单元具有一个设置于该机架单元的移载机构，及一个设置于该移载机构的吸取装置。

较佳地，所述晶粒外观检查机中，该移载机构具有一个第三移动装置，及一个第四移动装置，该第三移动装置设置于该机台单元，并具有一个沿该第一方向移动的第三移动部，该第四移动装置设置于该第三移动部，并具有一个沿一个垂直于所述第一方向、第二方向的第三方向移动的第四移动部，该吸取装置设置于该第四移动部。

较佳地，所述晶粒外观检查机中，该中央处理单元可将所述晶粒的影像分区显示于该触控屏幕地电连接于该检视单元。

本实用新型的有益效果在于：利用该取像单元去扫瞄拍摄所述晶粒的影像，并将所述晶粒的影像显示于该触控屏幕，以供作业员准确地进行检查。

附图说明

图1是现有作业员利用一个显微镜来检查晶粒的平面示意图；

图2现有一种晶粒外观检查机的平面示意图；

图3是本实用新型的晶粒外观检查机一较佳实施例的平面示意图；

图4是作业员通过该较佳实施例的一个触控屏幕来检查晶粒并直接在该触控屏幕上点选出不良晶粒的作业示意图；

图5是作业员通过该触控屏幕来检查晶粒并利用该较佳实施例的一个鼠标在该触控屏幕上点选出不良晶粒的作业示意图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。