[实用新型]晶粒外观检查机无效
申请号: | 201120037829.0 | 申请日: | 2011-02-14 |
公开(公告)号: | CN201955309U | 公开(公告)日: | 2011-08-31 |
发明(设计)人: | 陈清凉;陈冠男 | 申请(专利权)人: | 富振昌科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人: | 张雅军;秦小耕 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶粒 外观 检查 | ||
1.一种晶粒外观检查机,适用于检查数个粘附于一张胶膜的晶粒,其特征在于:该晶粒外观检查机包含一个机台单元、一个供黏附有所述晶粒的胶膜摆置定位的工作台单元、一个用于拍摄所述晶粒的影像的取像单元、一个根据所述晶粒的影像对所述晶粒分别定义出一个坐标位置的中央处理单元,及一个检视单元;
该工作台单元,设置于该机台单元;
该取像单元,设置于该机台单元;
该中央处理单元,与该取像单元电连接;
该检视单元,与该中央处理单元电连接,该检视单元具有一个显示所述晶粒的影像的触控屏幕。
2.根据权利要求1所述的晶粒外观检查机,其特征在于:该检视单元还具有一个鼠标。
3.根据权利要求1所述的晶粒外观检查机,其特征在于:该晶粒外观检查机还包含一个设置于该机台单元与该工作台单元之间的移动单元,该移动单元具有一个第一移动装置,及一个第二移动装置,该第一移动装置设置于该机台单元,并具有一个沿一个第一方向移动的第一移动部,该第二移动装置设置于该第一移动部,并具有一个沿一个垂直于所述第一方向的第二方向移动的第二移动部,该工作台单元设置于该第二移动部。
4.根据权利要求3所述的晶粒外观检查机,其特征在于:该晶粒外观检查机还包含一个与该中央处理单元电连接的移除单元,该移除单元具有一个设置于该机架单元的移载机构,及一个设置于该移载机构的吸取装置。
5.根据权利要求4所述的晶粒外观检查机,其特征在于:该移载机构具有一个第三移动装置,及一个第四移动装置,该第三移动装置设置于该机台单元,并具有一个沿该第一方向移动的第三移动部,该第四移动装置设置于该第三移动部,并具有一个沿一个垂直于所述第一方向、第二方向的第三方向移动的第四移动部,该吸取装置设置于该第四移动部。
6.根据权利要求1所述的晶粒外观检查机,其特征在于:该中央处理单元可将所述晶粒的影像分区显示于该触控屏幕地电连接于该检视单元。
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