[发明专利]衬底接合设备和使用所述衬底接合设备的衬底接合方法有效

专利信息
申请号: 201110441326.4 申请日: 2011-12-26
公开(公告)号: CN102543797A 公开(公告)日: 2012-07-04
发明(设计)人: 刘正必;赵翊成 申请(专利权)人: AP系统股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/02
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 臧建明
地址: 韩国京畿道*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 衬底 接合 设备 使用 方法
【权利要求书】:

1.一种衬底接合设备,其包括:

放置有衬底的平台;

沿着形成于所述衬底上的特定线发光的光辐照器;

安置于所述衬底的上侧周围以使得所述光辐照器沿着所述线移动的第一轨道;以及

与所述第一轨道交叉的第二轨道。

2.根据权利要求1所述的衬底接合设备,其特征在于所述线沿着所述衬底之间的边缘延伸。

3.根据权利要求1所述的衬底接合设备,其包括第一轨道块,

其中所述第一轨道块具有连接至所述第一轨道的第一末端和连接至所述第二轨道的第二末端,且沿着所述第一轨道移动。

4.根据权利要求1所述的衬底接合设备,其包括第二轨道块,

其中所述第二轨道块具有连接至所述第二轨道的第一末端和连接至所述光辐照器的第二末端,且沿着所述第二轨道移动。

5.根据权利要求1所述的衬底接合设备,其特征在于所述第二轨道自所述平台的外部延伸至所述平台的内部。

6.根据权利要求1或5所述的衬底接合设备,其特征在于所述第二轨道的接近于所述平台的末端安置于所述平台的内部之上。

7.根据权利要求1所述的衬底接合设备,其特征在于所述光辐照器包括在特定方向上排列以发光的发光部件。

8.根据权利要求7所述的衬底接合设备,其特征在于所述发光部件发射紫外(UV)射线。

9.根据权利要求7所述的衬底接合设备,其特征在于所述发光部件包括发光二极管(LED)。

10.一种衬底接合方法,其包括:

准备一对衬底,在所述衬底之间安置密封胶线;

将所述衬底放置于平台上;

移动光辐照器以对应于所述密封胶线的上侧;以及

沿着所述密封胶线移动所述光辐照器以将光发射于所述密封胶线上。

11.根据权利要求10所述的衬底接合方法,其特征在于所述密封胶线包括光固化材料。

12.根据权利要求10所述的衬底接合方法,其特征在于所述衬底包括透光材料。

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