[发明专利]热化学气相沉积反应器以及提高反应器中热辐射率的方法

权利要求书

1.一种对热化学气相沉积反应器中的器件进行表面处理以提高热辐射率的方法，其特征在于，在进行反应之前，对反应腔中的器件预先进行表面处理，从而提高器件的热辐射率数值使反应腔中器件表面相对未处理前的热辐射数值提高3倍以上，其中所述反应腔中的器件包括加热电阻丝钼Mo和反应腔内壁不锈钢。

2.一种热化学气相沉积反应器，包括一个反应腔体（100），以及腔体内包围的一个基盘（104），所述基盘包括上表面用于安装待处理基片（105），下表面接受一个加热器（103）的热辐射，其中所述反应腔体的内壁具有预处理内壁使反应腔体内壁的热辐射率大于0.5。

3.根据权利要求2所述的热化学气相沉积反应器，其特征在于，其中所述加热器的表面热辐射率大于0.2。

4.根据权利要求2所述的热化学气相沉积反应器，其特征在于，其中所述加热器的表面热辐射率大于0.3。

5.根据权利要求2所述的热化学气相沉积反应器，其特征在于，其中所述反应腔内壁的表面热辐射率大于0.6。

6.根据权利要求2所述的热化学气相沉积反应器，其特征在于，其中所述热化学气相沉积反应器是金属有机物化学气相沉积反应器。