[发明专利]正型感光性树脂组合物及永久抗蚀剂

权利要求书

1.一种正型感光性树脂组合物，其含有作为基础树脂的具有羧基和/或酚性羟基的聚硅氧烷化合物、作为感光性成分的感光性重氮醌化合物、和有机溶剂，其特征在于，

含有环氧硅氧烷化合物，所述环氧硅氧烷化合物为将下述通式(1)所示的基团彼此、或者下述通式(1)所示的基团与下述通式(2)所示的基团用从在1分子中具有2～4个乙烯基的化合物中去除了乙烯基而成的残基进行连结而得到的环氧硅氧烷化合物，

式中，R¹表示可以相同也可以不同的碳原子数为1～4的烷基或碳原子数为6～10的芳基，E表示具有环氧基的基团，a表示2～5的数，

式中，b表示使a-b+1成为0～4的数的2～6的数，R¹、E和a与上述通式(1)意义相同。

2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中，进一步含有下述通式(3)所示的烷基硅烷化合物与下述通式(4)所示的芳基硅烷化合物的水解缩合物，

R²表示碳原子数为1～4的烷基，X¹表示碳原子数为1～4的烷氧基或卤素原子，

R³表示碳原子数为6～10的芳基，X²表示碳原子数为1～4的烷氧基或卤素原子。

3.一种永久抗蚀剂，其由权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物得到。