[发明专利]一种水热辅助液相自组装制备（311）取向生长硫化钐薄膜的方法

权利要求书

1.一种水热辅助液相自组装制备(311)取向生长硫化钐薄膜的方法，其特征在于：

1)取0.04～0.50g的氯化亚钐(SmCl₂)置于烧杯中，向烧杯中加入10～30ml的无水乙醇，再滴加0.1～1.0ml去离子水，搅拌得溶液A；

2)向溶液A中加入0.01-0.10g分析纯的硫代乙酰胺(C₂H₅NS)搅拌均匀得溶液B；

3)用氨水调节溶液B的pH值至7.0-10.0得前驱液C；

4)将羟基化的玻璃基板置于体积浓度为1～2％的OTS(十八烷基三氯硅烷)的甲苯溶液中在室温下浸泡10～40min，取出后分别用丙酮、四氯化碳冲洗，然后用氮气吹干，在氮气气氛中，于100～130℃干燥5～15min；

5)将干燥后的OTS玻璃基板放在紫外线照射仪中，紫外光辐射波波长184.9nm，在一个大气压下，照射距离为1～3cm，照射5～60min，使OTS头基的烷基在紫外光的光激发下进行羟基化转变，得到OTS功能化后的玻璃基板；

6)将功能化后的玻璃基板置于前驱液C中，将烧杯放入真空干燥皿中，抽真空，然后将真空干燥皿置于干燥箱中，在30～50℃下沉积1-30h在基板上形成硫化钐薄膜；

7)将沉积好的薄膜浸入到前驱液C中，放入水热釜中，在80～150℃下，热处理10～24h，将水热釜冷却到室温，将薄膜取出，用氮气吹干得硫化钐薄膜。

2.根据权利要求1所述的水热辅助液相自组装制备(311)取向生长硫化钐薄膜的方法，其特征在于：所述的羟基化的玻璃基板是将玻璃基板分别置于丙酮溶液、乙醇溶液中超声波清洗10～15min，去掉玻璃基板表面上有机物质，再将玻璃基板置于溶液F中室温浸泡1～36h，然后再用去离子水清洗，用N₂吹干，然后在紫外线照射仪中，照射10～30min，得到羟基化的玻璃基板，所述的溶液F采用质量浓度为98％的H₂SO₄和质量浓度为30％的H₂O₂以7∶3的体积比混合得到。