[发明专利]全局对准标记以及全局对准方法无效
| 申请号： | 201110342062.7 | 申请日： | 2011-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN102566339A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 孙贤波;孔蔚然 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 全局 对准 标记 以及 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种全局对准标记，其特征在于包括：布置在密封圈的第一侧壁和第二侧壁之间的单个对准标记，其中所述第一侧壁和所述第二侧壁用作对准标记，并且所述第一侧壁、所述单个对准标记和所述第二侧壁被用作全局对准标记所需的三根信号源。
2.一种全局对准方法，其特征在于包括：在密封圈的第一侧壁和第二侧壁之间布置单个对准标记，并且将所述第一侧壁和所述第二侧壁用作对准标记，并且将所述第一侧壁、所述单个对准标记和所述第二侧壁用作全局对准标记所需的三根信号源。
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