[发明专利]处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于对例如平板显示器用的玻璃基板、半导体基板、印刷电路板等进行检查、处理的处理装置。

背景技术

近年来，在玻璃基板、半导体基板、印刷电路板(以下称作基板)等的制造中，具有用于对基板进行检查等处理的处理装置。处理装置具有用于对基板进行检查处理的处理部、以及用于自外部向处理部输送基板或者自处理部向外部输送基板的输送部。

输送部包括：浮起用板，其在用于输送基板的输送面上具有多个空气孔，并用于通过自该空气孔吹出空气而使基板浮起；以及吸盘，其用于吸附基板，并能够沿输送方向移动。输送部通过使吸附了利用浮起用板浮起的基板的吸盘移动，而进行基板的输送。

但是，若输送到处理部的基板产生挠曲等，则有可能引起处理装置的对基板的处理精度降低，因此至少在处理部中需要将基板的表面设置为平坦。该处理装置调整处理部及输送部的基板输送面的平坦度，并且调整处理部和输送部之间的连结部中的连结高度以使其变得平坦。

作为上述处理装置，公开有在检查部上配置与输送方向垂直方向的浮起用板(横置浮起构件)且使处理部中的基板的表面平坦度提高的技术(例如参照专利文献1)。在该处理装置中，利用吸盘保持利用浮起用板而浮起的基板的下表面，从而进行基板的输送。

专利文献

专利文献1：日本特开2009-256029号公报

但是，专利文献1所公开的处理装置具有如下问题：由于精密地限定了用于输送基板的输送面的平坦度，因此若在输送中产生微小的振动等，则吸盘和基板之间的吸附状态被解除，导致产生吸附失误。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而做成的，其目的在于提供一种能够防止基板和吸盘之间的吸附失误的处理装置。

为了解决上述问题并达到目的，本发明的处理装置包括：处理部，其用于对作为处理对象的基板实施规定的处理；以及输送台，其用于载置上述基板而输送该基板；其特征在于，上述输送台包括：支承部件，其具有在沿输送上述基板的输送方向观看时端部位于比中央部靠铅垂下方的位置的上表面，并用于直接或间接地支承被配置在该上表面的上方的上述基板；保持构件，其用于以能够沿与上述输送方向平行地延伸的输送轴移动的方式保持上述基板；以及驱动部，其用于使上述保持构件沿上述输送轴移动；上述支承部件支承上述基板的支承高度在设置有上述处理部的处理部设置区域中与上述保持构件保持上述基板的保持高度相同，上述支承部件支承上述基板的支承高度在上述处理部设置区域以外的区域中低于上述保持高度。

关于本发明的处理装置，通过倾斜地设置输送台，并水平地配置用于使吸盘移动的输送轴，使输送台所形成的输送面和吸盘的用于吸附基板的吸附面形成高低差，使基板对吸盘施加较大的自重，因此能够起到防止基板和吸盘之间的吸附失误的效果。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的实施方式1的平板显示器(FPD)检查装置的结构的俯视图。

图2是示意性地表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的结构的侧视图。

图3是示意性地表示图2所示的输送台的示意图。

图4是表示图1所示的FPD检查装置的A-A剖面的剖视图。

图5是表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的变形例1的剖视图。

图6是表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的变形例2的剖视图。

图7是表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的变形例3的剖视图。

图8是表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的变形例4的剖视图。

图9是表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的变形例4的剖视图。

图10是表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的变形例4的主要部分的结构的剖视图。

图11是表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的变形例5的剖视图。

图12是示意性地表示本发明的实施方式2的FPD检查装置的结构的俯视图。

图13是表示图12所示的FPD检查装置的B-B剖面的剖视图。

图14是表示本发明的实施方式2的FPD检查装置的变形例的剖视图。

具体实施方式

以下，结合附图详细地说明用于实施本发明的实施方式。另外，本发明不限于以下的实施方式。此外，在以下的说明中，所参照的各图只是以能够理解本发明的内容的程度概略地表示出形状、大小、以及位置关系。即，本发明不限于在各图中例示的形状、大小、以及位置关系。

(实施方式1)